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1、NiO(氧化鎳)是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，呈現(xiàn)p型導(dǎo)電性質(zhì)而且它具有較好的化學(xué)、電學(xué)，光學(xué)和磁學(xué)特性，因此得到了人們廣泛的研究并且在各種光電器件，例如：紫外探測(cè)器，化學(xué)傳感器的功能層，電致變色超級(jí)電容，有機(jī)發(fā)光二極管上得到了應(yīng)用。
本論文首先綜述了NiO薄膜的性質(zhì)、應(yīng)用和常用的制備方法，在制備方法中射頻磁控濺射法是較為常用的一種薄膜制備技術(shù)，但是各種濺射參數(shù)對(duì)薄膜的性質(zhì)有很大的影響。本文中也采用射頻磁控濺射法在不同濺射電壓、O2
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