材料表面微米-納米雜合圖案的制備技術(shù)研究.pdf_第1頁
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1、Investigationsoftechniquesforpreparationofmicro—nanohybridpatternsonmaterialsurfaceADissertationPresentedPengLiuSubmittedinpartialfulfillmentoftherequirementsforthedegreeofDoCTORoFPHILoSOPHYThesisAdvisor：ProfJiandongDING

2、DepartmentofMacromolecularScienceFUDANUNIVERSITYOctober2009目錄摘要IAbstract11，第一章緒論l11生物材料概況l12細(xì)胞與材料的相互作用213微／納米圖案加r【=技術(shù)3131傳統(tǒng)光刻技術(shù)和下一代光刻技術(shù)3132納米壓印技術(shù)4133基于掃描探針顯微鏡的納米圖案加工技術(shù)7134軟刻蝕一8135自組裝圖案化技術(shù)一lO14材料表面微／納米圖案化技術(shù)在細(xì)胞與材料相互作用研究中的應(yīng)

3、用17141微圖案化技術(shù)在細(xì)胞生物學(xué)中的應(yīng)用18142納米圖案化技術(shù)在細(xì)胞生物學(xué)中的應(yīng)用2415課題背景和研究?jī)?nèi)容28參考文獻(xiàn)3l乜第二章硬質(zhì)基底表面Au微米納米雜合圖案的制備5021前言5022實(shí)驗(yàn)部分56221儀器與試劑56222Au微米納米雜合圖案的制備一57223Au微米納米雜合圖案的表征58224細(xì)胞培養(yǎng)～5823結(jié)果與討論59231光刻技術(shù)結(jié)合blockcopolymermicellenanolithography制備Au微

4、米一納米雜合圖案(方法一)59232光刻技術(shù)、blockcopolymermicellenanolithography和濕法腐蝕制備Au微米納米雜合圖案(方法二)62233等離子體選擇性刻蝕技術(shù)與blockcopolymermicellenanolithography組合制備Au微米納米雜合圖案(方法三)6924小結(jié)71參考文獻(xiàn)73第三章AuPt雙金屬微米納米雜合圖案的制備7631前言7632實(shí)驗(yàn)部分78321儀器與試劑78322Au納

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