2.5維大范圍納米激光干涉測長信號處理子系統(tǒng)的研究

1、中國計量科學研究院碩士學位論文論文題目：2 ：5 墼盔重國抽叢墅世壬造型藍j 置量地理王墨筮的監(jiān)窶研 究生專 業(yè)研究方向導 師瓦塞堂趔遮主士量籃查里叢器勤卷捌量業(yè)垂住 直越王摧業(yè)A B S 。I ’R A C ’l ’N 姐o t e c h n o l o g yi sa n e w t e c h n o l o g y d e v e l o p i n g 療o mt h e 2 0 t hc e n t u r y i n 8

2、 0 ’s ．M o r e a n d m o r ea n e m i o n i sp a i dt ot l l es t I l d yo f n a I l o t e c } m o l o g ya l lo v e r t 1 1 ew o r l d ．N a l l o m e 仃o i o g y 懿a I Ii m p o r c a I l tb r a I l c ho f n a l l o t e c

3、l l l l 0 1 0 9 ym u s t b ed e v e l o p e dt oa c h i e v eh i 曲p r e c i s i o nm e a s u r e m e n to nn a I l ol e V e l n e e d e dl l r g e n t l ya t p r e s e n t i ni n d u s t r ys u c ha sm e c h a I I i c ，m

4、 a t e r i a la n d e l e c t r o I l i c ，e t c ．n l ep r o j e c t ‘‘2 ．5d i m e n s i o n1 a r g er 柚g e N a l l o m e t e rm e a s l l r 部n e m a I l dc a l i b r a t i o n s y s t e m ”i np r o c e s s e db e l o n

5、gt om t i o n a I s c i e n t i f i ck e y s p e c i a l p r o j e c t o f m e l o t l l 價e ·y e a r p l a I l j u s t f c e dl h e n e e do f打a c e a b i l i t y o f N a l l o m e t e r i n o I l r c o u m 呼T h es

6、i g n a l p r o c e s s i n g s u b s y s t e mi I l 打1 ) d u c e di nt 1 1 i sp a p e rp r o c e s s e s t l l es i 弘a lc o m i n g 丘o mi n t e r f b r o m e t e r r e a lt i m ei sa k e y p a r to f 也e p r o j e c tf b

7、 rd i s p l a c e m e m m e 船u r e m e m ．A tf i r S t ，m i sd i s s e r t a t i o nd i c u s s e s 也ec u 玎e n ts i t u a t i o no fn a n o t e c l l I l o l o g ya n dh i g h a c c u r a c y l a s e r d i s p l a c e m

8、e n t m e a s u r e m e n tt c c h l l o l o g y ，t 1 1 e n a n a l y s e s a n di n 仃o d u c e sm e o p t i c a lS y s t e m o f h i 曲p r e d s i o n p o l a r i z a t i o nl a s e r i n t e r f e r o m e t e rw i t h也e

9、a b i l i t yo f r e g t r i c t i o no f c o m m o n d i s t I l r bw i t c h w i l lb e u s e d i I l t l l eo u r p r o j e c t ．T h ed i s s e r t a t i o np l a c e si t se m p h a s e so ni n t e 彘r e n c es i 印a l

10、p r o c e s s i n g ．A tt l l eb e g i I l l l i n g w e d e s i 蛐e d a n d e c t r 0 I l i c c i r c l l i t c o m l e c t e d t 0 o p t i c a I p a r t o fi m e r f b r o m e t e rf o rs i 弘a 王p r o c e s s i n g ．T h

11、ch a r d w a r es y s t c mi s m a i l l l y m a d e u po ft h r e e p a n s ：l o wn o i s c p r e 鋤p l i f i ％s i 驢a lc o n d i t i o n i n g 鋤p l i f i ％d i 西t a l s i 驢a lp r o c e s s i l l g 塒t hh i 曲s p e e dD s P

12、．I n t e r 船e n c es i g l l a li sm a i l l l yp r o c e s s e d b y s o f h Ⅳa r ea I l dp a n l y p r o c e s s e db y h a r d w a r e ．h o r d e rt op r o c c s ss i g r 試f a S ta n d a c c u r a t e l y ，t 1 1 ed i

13、s ∞r t a t i o n 鋤l y s e sc o r r l p l e t e l y t h ei 1 1 f a 向e n c es i g n a la n di t se ∞o r ，a I l dt l l e nd r a 、Ⅳsa c o n c u l u s i o n t h a tm et h r e e ㈣r s i s t l l em a i n 鋤r o f t h ei n t e r f

14、毫r e n c es i g n a l ( d cv o l t a g ee 餓) r ，l l n e q u a l 觚l p l i n l d e o f 似os i 鯽a l s ，q u a d r a t u r cp I l a s e ㈣ro f 咖s i g I l a l s ) ．F 0 r 也e s a l ( e o fe l i n l i n a t i l l g t h e t l l r e

15、e e r r o r So fi I l _ 鋤彘r e n c e s i 盟a l ，w e鋤l y s ea n d i I Ⅳe s t i g a t et h em e t h o do f e r r o rc o I n p e n s a t i o I l ，f ．m a l l yc o n | i m o 任H i I l ec o m p e n s a t i o na n d o n - l i n cd

16、 舯i c c o m p e n s 撕o n 咖s c h e m e s ．W i n l i n 也e d y m m i cc o m p e n s a t i o nS c h e f n c ，w ec r e a t i v e l yp r o p o s ea g o O dP m e t l l o dt o r e a l i z ed y n a l l l i cc o m p e n s a t i o

17、no f e r r o rb ys o f h v a r e ．F I l n l l e fm o r e ，w ed c s i g n e dm e 鵲u r i I l gs o f t 、^ r a r eo f i n t e r f e n ) m e t e r w i 也n a n o Ⅱl e 砸c l c v e l r e s o l u t i o m、L a s t c h a p t e ro ft h

18、 i s p a p e r 西V e s a ne x p e r i m e ms y s t e m 謝t c hc a I l t e s t t 1 1 ep r e c i s i o n o f t l l ec i r c u i ts y s t e mw e d e s i 鄹【e d ．B yt h ec x p e r i m e n ts y s t 鋤w e t e s 砌t 1 1 ec i r c u i

19、 t n o i s e 】e v e l a n d c h e c k e d t h ec D 瞅℃t j 冊“d a t a 班o c e s s j n gm e t h o d ．T h ee x p e r i m e n tr e s u hs h o w s t l l a t t h ec i r c u “S y s t 鋤c a nr e a l i z c m er e s o l u t i o na b o

20、 u tO ．0 4 姍a n dt h ed ”a I I l i cc o m p e n s a t i o np e r f b Ⅱn 鋤c ea I l dp r e c i s i o no f P m e m o d i sg o o dt 1 1 趾t l l et r a d i t i o I l a l H e y d e m m a I l m e t l l o d ．n ec i r c I I i ts y

21、 s t e m 咖f e c d t l l en e e do f t l l ei n t e r f 色r o m e t e r 觚dw h o l e s y s t c m ．T h e r e s e a r c hw o r ko f t l l ed i s s e r t a t i o nw i l lp r o v i d e 灑p o 衄l t t e c h I l i c a la i s s t a I

22、 l c ef o r t h ea c c o m p l i s h m e mo ft 1 1 e p r o j c c t ‘‘2 ．5 d i m e n s i o nl a r g c m n g eN a I l o m e t e rm e a s u r e m e n t a I l d c a l i b r a t i o n s y s t e m ”觚d c o n m b u t e t o e a r