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1、第一章:為何使用干涉儀做檢測(cè)第一章:為何使用干涉儀做檢測(cè)1111干涉度量學(xué)干涉度量學(xué)第一章為什么要使用干涉儀檢測(cè)首先我們要先了解,什么是干涉度量學(xué)?所謂干涉度量學(xué)是指利用光干涉的效應(yīng)來(lái)量測(cè)特定物理量的方法也就是說(shuō)藉由觀察干涉條紋的變化來(lái)量測(cè)出待測(cè)物的特征1212何謂干涉儀何謂干涉儀干涉儀是什么一般來(lái)說(shuō)只要是利用光干涉的原理來(lái)量測(cè)的儀器便可以稱(chēng)為干涉儀但是干涉儀的種類(lèi)眾多且多變化因此本課程中將針對(duì)最為外界常用之種類(lèi)作介紹分之一約為6個(gè)(n
2、m)目前的奈米科技是在這個(gè)尺度甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(gè)(nm)從此可以看出干涉儀的精度有多好了第二章:非球面玻璃模造的原理第二.非接觸式量測(cè)另一種量測(cè)用的輪廓儀是使用接觸式的量測(cè)方式即使目前已可以微調(diào)接觸的力量但對(duì)于表面較脆弱的被量測(cè)物是否真的完全不會(huì)造成損害則仍無(wú)法確定.而當(dāng)用干涉儀量測(cè)時(shí)是把光照射到被量測(cè)的物體上所以干涉儀上的探針也就是光并不會(huì)對(duì)物體表面照成任何傷害第三使用探針來(lái)量測(cè)時(shí)無(wú)法一次量測(cè)所有的面積而可能必需分很多
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