微小凹坑陣列電化學(xué)加工技術(shù)研究.pdf

1、研究表明，微小凹坑陣列結(jié)構(gòu)對(duì)于改善摩擦副表面的潤(rùn)滑狀況，減少摩擦磨損起著非常重要的作用。因此，微小凹坑陣列結(jié)構(gòu)的加工已成為研究熱點(diǎn)。在所有微坑加工方法中，電解加工（Electrochemical Machining，ECM）具有加工效率高，成本低，無需二次加工等優(yōu)點(diǎn)，吸引了很多研究人員的關(guān)注。
　　 電解加工是利用金屬在電解液中可以發(fā)生陽(yáng)極溶解的原理，將工件加工成形的一種技術(shù)。由于電解加工中，陰極和工件是非接觸進(jìn)行加工的，無應(yīng)力

2、變形，另外材料的減少過程以離子的形式進(jìn)行，因此這種微溶解去除方式使得電解加工技術(shù)在微細(xì)制造領(lǐng)域有著很大的發(fā)展?jié)摿Α１疚倪M(jìn)行了電解加工微小凹坑陣列結(jié)構(gòu)的研究，論文完成的主要工作如下：
　　 （1）通過有限元分析了毛細(xì)管電極電液束加工微小凹坑中工件表面被加工區(qū)域的電流密度的分布情況，結(jié)果表明，該方法適合半球形微小凹坑的加工。
　　 （2）搭建出毛細(xì)管電液束加工微小凹坑的加工系統(tǒng)，開展了毛細(xì)管電極電液束加工微小凹坑的試驗(yàn)，研究

3、了電流密度、電解液壓力和加工間隙對(duì)單個(gè)凹坑形狀的影響，以及毛細(xì)管間距、電解液壓力和加工間隙對(duì)凹坑陣列形狀的影響。
　　 （3）提出了電解轉(zhuǎn)印加工微小凹坑陣列結(jié)構(gòu)的方法。利用有限元分析了不同陰極類型、不同陰極膠膜厚度以及不同陰極小孔間距對(duì)凹坑陣列形狀的影響。
　　 （4）研究了脈沖頻率、占空比、陰極膠膜厚度和陰極平板小孔間距對(duì)電解轉(zhuǎn)印加工微小凹坑陣列形狀的影響。結(jié)果表明脈沖頻率越高，凹坑尺寸越?。徽伎毡仍酱?，凹坑尺寸越大。