石英玻璃ELID磨削表面質量研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文是采用ELID磨削(ElectrolyticIn-ProcessDressing，ELID)方法對石英玻璃進行塑性加工的研究。采用ELID磨削工藝提高了加工精度、降低了表面粗糙度。實驗用GM73-Ⅲ型平面切入磨床，采用鑄鐵短纖維結合劑金剛石砂輪，配合在線電解修整，經過對電解電流、砂輪轉速、進給量等工藝參數(shù)的條件實驗及優(yōu)化，加工出高精度、低粗糙度的石英玻璃；研究了砂輪轉速、進給量等工藝參數(shù)對石英玻璃表面粗糙度的影響；采用原子力顯微鏡(

2、AtomicForceMicroscope，AFM)對石英玻璃磨削表面進行了形貌分析，利用表面光度儀(XP-2TM)測量石英玻璃磨削表面的粗糙度，用JD22型數(shù)字式立式測長儀測定了石英玻璃磨削表面的平整度，探討了微觀磨削機理及石英玻璃的磨削加工塑性域。 分析結果表明，本實驗中在砂輪結合劑中加入稀土氧化物CeO2后，砂輪孔隙減少，顯微組織細化，金屬結合劑與金剛石顆粒的結合性能得到了明顯改善，提高了結合劑對金剛石顆粒的把持能力，從而

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