ELID磨削砂輪表面氧化膜厚度在線檢測.pdf

1、ELID磨削技術(shù)利用電解作用對金屬結(jié)合劑砂輪進行連續(xù)修整，通過控制不同的材料和工藝參數(shù)，使金剛石磨粒的有效修整率和磨損率達到平衡，進而實現(xiàn)硬脆材料的超精密加工。因此要得到穩(wěn)定的磨削過程、高質(zhì)量的加工表面和較少的亞表面損傷，必須對氧化膜厚度進行實時測量和監(jiān)控，通過控制電解條件使氧化膜的厚度保持在一定的范圍內(nèi)。
　　 本文分析了ELID磨削過程中砂輪表面氧化膜的生成機理，經(jīng)分析得出：在電解預(yù)修銳階段，經(jīng)過整形的砂輪導(dǎo)電性好，氧化膜生

2、長速率很快；在動態(tài)磨削階段，氧化膜覆蓋在砂輪表面，和工件直接接觸，由于工件和切屑的反作用，氧化膜變薄，電解作用恢復(fù)，厚度增加，呈現(xiàn)循環(huán)及自適應(yīng)的特征。在對ELID中氧化膜生長規(guī)律進行分析的基礎(chǔ)上，利用激光傳感器和電渦流位移傳感器分別測量氧化膜的外表面和內(nèi)表面的變化值，提出組合測量氧化膜厚度的方法；確定了基于虛擬儀器的和工控機的測量系統(tǒng)總體方案；設(shè)計了安裝傳感器的微調(diào)工作架，構(gòu)建了測量氧化膜厚度的硬件平臺。利用LabVIEW軟件和NI數(shù)據(jù)