基于斐索干涉儀的數(shù)字波面干涉技術(shù)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代各種類型光學(xué)儀器對小型光學(xué)零件大批量需求，越來越多的產(chǎn)品要求對其加工過程進行現(xiàn)場快速實時監(jiān)控。光干涉計量儀器因為其高的測量精度引起大家的廣泛關(guān)注，因此，可以離開實驗室適用于生產(chǎn)現(xiàn)場的小型、現(xiàn)代數(shù)字波面干涉儀必將具有廣闊的應(yīng)用前景。 本文首先對斐索干涉儀用于平面和球面光學(xué)零件測量的原理進行闡述，系統(tǒng)分析和研究了現(xiàn)有激光斐索干涉儀的特點，根據(jù)項目對系統(tǒng)所能達到測量精度的相關(guān)要求和干涉儀器的經(jīng)濟指標，確定該干涉儀設(shè)計方案。其次

2、，鑒于該系統(tǒng)采用高速成像技術(shù)較好克服環(huán)境振動對干涉測量的影響因而可用于生產(chǎn)車問現(xiàn)場檢驗，特別利用VC++可視化程序設(shè)計語言編寫程序?qū)崿F(xiàn)對數(shù)字圖像實時自動判讀避免人為判讀的主觀性誤差，使其具有廣闊的市場前景。再者，根據(jù)項目要求對所需器件進行合理選型。利用該系統(tǒng)對平面光學(xué)零件進行測試，較詳細闡述干涉測量的調(diào)節(jié)過程，并將拍攝到的干涉條紋轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號進行實時處理，包括對圖像灰度轉(zhuǎn)換、圖像平滑濾波處理、圖像分割以及數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)腐蝕膨脹等操作，最終