大直徑單晶爐Cusp磁場(chǎng)設(shè)計(jì)與研究.pdf_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩99頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、硅單晶材料是最重要的半導(dǎo)體材料,是信息社會(huì)的物質(zhì)基礎(chǔ)。特別是伴隨著太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體信息產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,對(duì)單晶硅材料的需求非常大。目前國(guó)內(nèi)用于大規(guī)模集成電路的3-8英寸單晶硅的生產(chǎn)絕大部分采用進(jìn)口,而用于極大規(guī)模集成電路級(jí)的大直徑高性能單晶硅的生長(zhǎng)工藝、設(shè)備技術(shù)等僅壟斷在國(guó)外幾家公司中,無(wú)法進(jìn)行購(gòu)置。作為大直徑單晶爐設(shè)備重要部件之一的Cusp磁場(chǎng)裝置,對(duì)單晶硅質(zhì)量控制起著重要的作用,急需實(shí)現(xiàn)該設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化。
   傳統(tǒng)的Cu

2、sp磁場(chǎng)裝置存在著功耗高、線圈加工工藝復(fù)雜、設(shè)計(jì)可重復(fù)性低的缺點(diǎn),隨著單晶爐尺寸的增大越明顯。本課題在分析Cusp磁場(chǎng)裝置功耗和傳統(tǒng)線圈工藝的基礎(chǔ)上,提出了一種新型的應(yīng)用于Cusp磁場(chǎng)的線圈形式和冷卻方式,并完成了冷卻系統(tǒng)和線圈的設(shè)計(jì)、加工,有效的降低了功耗。同時(shí)利用有限元分析軟件Maxwell對(duì)Cusp磁場(chǎng)進(jìn)行建模仿真,對(duì)磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了仿真模擬和優(yōu)化設(shè)計(jì),提高線圈勵(lì)磁效率。
   論文各章內(nèi)容分述如下:
   第一

3、章論述了本課題的研究背景、意義和國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀,提出了本課題的研究?jī)?nèi)容和關(guān)鍵技術(shù)。
   第二章在總結(jié)分析的基礎(chǔ)上,對(duì)磁場(chǎng)對(duì)單晶爐熔體對(duì)流和氧運(yùn)輸?shù)冗M(jìn)行分析和研究,為Cusp磁場(chǎng)的設(shè)計(jì)指標(biāo)提供依據(jù)。
   第三章以TDR130型單晶爐為設(shè)計(jì)依據(jù),利用有限元分析軟件Maxwell對(duì)Cusp磁場(chǎng)建模仿真,對(duì)關(guān)鍵磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)參數(shù)(線圈直徑、線圈間距、匝數(shù)比、導(dǎo)磁體結(jié)構(gòu))進(jìn)行分析和優(yōu)化設(shè)計(jì),Cusp磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供了一種參考方法。<

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論