大直徑直拉式單晶爐等徑控制系統(tǒng)的工程應(yīng)用研究.pdf

1、近些年來(lái)太陽(yáng)能光伏行業(yè)快速發(fā)展，單晶硅被大量應(yīng)用在太陽(yáng)能領(lǐng)域。目前，單晶生產(chǎn)設(shè)備都已經(jīng)比較成熟，但還是存在一些需要改進(jìn)的方面。所以，單晶設(shè)備的優(yōu)化不僅可以提升單晶硅的品質(zhì)，而且可以降低單晶硅的成本，意義非常重要。
　　目前，市場(chǎng)對(duì)于單晶產(chǎn)品的直徑尺寸要求越來(lái)越大。本文針對(duì)大直徑直拉式單晶爐等徑控制系統(tǒng)的工程應(yīng)用進(jìn)行了研究，將控制系統(tǒng)的硬件和軟件進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計(jì)。文章首先簡(jiǎn)介了直拉單晶爐的結(jié)構(gòu)，然后敘述了單晶爐等徑控制的原理，之后結(jié)合

2、積累的經(jīng)驗(yàn)對(duì)控制系統(tǒng)進(jìn)行了設(shè)計(jì)研究。硬件方面主要是對(duì)傳統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)方式進(jìn)行了改進(jìn)，并且引入CCD系統(tǒng)對(duì)直徑進(jìn)行測(cè)量。軟件方面主要是采用了CANopen的現(xiàn)場(chǎng)總線模式，組成了數(shù)字化通信網(wǎng)絡(luò)，實(shí)現(xiàn)了信息處理的現(xiàn)場(chǎng)化。
　　等徑控制性能的優(yōu)劣直接關(guān)系到生產(chǎn)出的單晶硅產(chǎn)品的質(zhì)量。拉晶過(guò)程中，單晶硅棒的直徑大小主要受到晶體拉速和溫度的影響。而拉速和溫度又以直徑為中心相互影響，傳統(tǒng)的PID控制在這方面具有局限性。因此，課題引入了內(nèi)模控制，將內(nèi)模控