手動式探針儀的自動化改造.pdf

1、集成電路IC(Integrated Circuit)芯片封裝、測試是集成電路制造過程的一個重要環(huán)節(jié)。隨著芯片加工工藝日趨繁難，以及人們對集成電路品質(zhì)的日益重視，測試計量已成為集成電路產(chǎn)業(yè)中一個不可或缺的獨立環(huán)節(jié)。手動探針測試儀已成為對芯片及晶片電路進行參數(shù)和功能測試的主要測試設備，在國內(nèi)外已有較長時間的研究和應用。隨著IC集成度的提高，測試點數(shù)量的增加、尺寸的微型化、密度的增大、以及規(guī)模生產(chǎn)和某些敏感元器件測試的需要，對手動探針臺的精度

2、、運行速度、使用功能、探測能力、軟件接口、工作可靠性、自動化程度以及對被測器件的無損測試要求等等，都提出了嚴格的新要求。國家計量研究院電磁室現(xiàn)有的手動探針儀用于測量微電子電路的微波阻抗，并作為國內(nèi)該領域基準溯源類的國家級儀器，可見對該儀器的自動化改造具有重要的社會效益和經(jīng)濟效益。手動探針儀的應用具有很大的缺欠，甚至成為提高測試精度的瓶頸。①在測試開始階段，首先要把儀器的三觸針觸頭在高倍率顯微鏡影像的引導下在X-Y坐標平面對準被測晶片上的

3、三個被測端點，然而Z方向是否可靠接觸，還需上下移動觸頭，并在專用純金試板上劃出測試痕跡，以判斷是否接觸可靠，才能進行測量讀數(shù)；②第一點測試完后，需移動到第二點重復上述調(diào)整過程，因此效率極低，難保測量的一致性；③由于沒有統(tǒng)一的坐標系，如果要求雙觸頭對徑測量，則調(diào)整起來更加困難；④對于大規(guī)模集成電路的眾多測試點，這樣的操作，必然會有遺漏。可見手動儀器的應用不僅勞動強度大，而且效率極低，精度難以保證。
　　 本文提出了以光柵數(shù)字系統(tǒng)組