基于運動特征分析的精密主軸回轉誤差檢測方法研究.pdf

1、隨著超精密加工技術的發(fā)展,人們對測量儀器的制造精度要求越來越高,尤其是高精度回轉體部件,這就使得提高軸系的回轉精度以滿足極限狀態(tài)下的零件加工要求和確保測量結果的準確性,成為一項極具挑戰(zhàn)的課題。此外,由于精密軸系組成部件本身的制造也處于極限精度狀態(tài)下,單純僅靠提高軸系部件的加工精度來保證是難奏效的。精密軸系,特別是靜壓氣浮軸系的回轉誤差在一定的工作條件下是較為恒定的系統誤差,這就使得精密軸系的回轉誤差納米級精度檢測問題,成為確保實現回轉誤

2、差分離與補償、提高軸系回轉精度的關鍵。
　　針對靜壓氣浮主軸,本文提出一種新的回轉誤差測量方法,并建立了兩種計算模型。通過傳感器采集到的測試樣件端面形貌數據進行運動特征分析,對主軸軸心軌跡進行評價,從而計算出回轉誤差數據。
　　研宄了主軸回轉誤差信號組成的理論。針對回轉誤差中的周期信號,運用傅里葉多項式對其進行數學描述。
　　采用微粒群算法求解本文中回轉軸線多參數的最優(yōu)化問題,并編制了計算回轉中心的軟件。結合圖像處理的