精密異型微小回轉(zhuǎn)體件圓度圓柱度誤差檢測方法研究.pdf

1、分類號(hào)：——UDC：密級(jí)：編號(hào)：精密異型微小回轉(zhuǎn)體件圓度圓柱度誤差檢測方法研究StudyOnRoundnessAndCylindricityErrorDetectionMethodofPrecisiOnShapedMicroROtationalParts學(xué)位授予單位及代碼：拯查理王太堂!!!!!12學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：堂堂王猩(QQ3QQ2研究方向：堂電型控夔苤盈邀矍申請學(xué)位級(jí)別：亟指導(dǎo)教師：塞查復(fù)數(shù)援研究生：塑堡男論文起止時(shí)間：201

2、111—201212摘要圓度與圓柱度誤差是衡量精密回轉(zhuǎn)零件很重要的指標(biāo)，一般尺寸零件的測量方法很多，但針對精密微小零件的測量方法較少，尤其是微小孔徑表面的測量方法更是罕見。目前微小孔徑表面測量方法都是應(yīng)用了特殊加工的探針，以接觸式測量為主，而對于微小孔徑表面的非接觸式測量方法沒有查到相關(guān)資料。本文在此提出了一種解決微小零件孔徑表面圓度誤差檢測的新方法。應(yīng)用激光共焦測量原理并將激光共焦位移傳感器與微小旋轉(zhuǎn)反射鏡聯(lián)用，反射鏡伸入被測孔徑內(nèi)部

3、實(shí)現(xiàn)測量并轉(zhuǎn)化了精密軸系主軸徑跳誤差對測量值的影響。應(yīng)用激光三角法測量原理實(shí)現(xiàn)微小零件柱形表面圓柱度誤差測量。將精密密珠軸系與圓光柵傳感器聯(lián)接，計(jì)算在測量過程中每一測量點(diǎn)對應(yīng)的徑跳誤差值與軸的偏移方向，實(shí)現(xiàn)誤差的無偏消除。介紹了圓度與圓柱度誤差的評定方法，提出了一種圓度誤差綜合評定方法。本文沒計(jì)的測量方法成功的應(yīng)用到微小零件圓度與圓柱度誤差檢測中，提高了檢測精度，彌補(bǔ)了微小孔徑表面非接觸式測量方法的空白。關(guān)鍵詞：圓度；圓柱度：激光共焦測