光纖接頭V型微槽超精密機(jī)床的誤差預(yù)估.pdf

1、國際激烈競爭的關(guān)鍵就是發(fā)展超精密加工技術(shù)等，發(fā)展微電子工業(yè)、光學(xué)零件、尖端技術(shù)和國防科技等都需要精密和超精密加工技術(shù)。當(dāng)代的超精密工程代表的是現(xiàn)代制造業(yè)技術(shù)的前沿，同時也是明天先進(jìn)制造技術(shù)的基礎(chǔ)。光纖接頭V型微槽超精密加工機(jī)床主要用于微V溝槽、微柱面槽、導(dǎo)光槽、背光模組及劃片等的超精密加工。超精密機(jī)床的誤差預(yù)估是一個系統(tǒng)性的精度分析工具，它的研究起源于20世紀(jì)80年代，過去幾十年來一直有研究者對誤差預(yù)估的研究方法和理論進(jìn)行提高和總結(jié)。研

2、究光纖接頭V型微槽連接器的超精密加工理論和機(jī)床的設(shè)計制造，可以準(zhǔn)確的分析出機(jī)床的加工誤差。
　　本文以光纖接頭V型微槽超精密加工機(jī)床為研究對象，對誤差預(yù)估的研究方法進(jìn)行分析，得到機(jī)床的加工工件形狀誤差預(yù)測值，具體對如下幾個方面進(jìn)行了研究:
　　介紹了國外高性能超精密加工機(jī)床的特點(diǎn)，分析了超精密機(jī)床誤差預(yù)估國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀，指出了目前超精密機(jī)床誤差預(yù)估方面的研究特點(diǎn)和存在的不足。
　　對超精密機(jī)床誤差預(yù)估的流程圖進(jìn)行詳細(xì)

3、的介紹和分析，本文創(chuàng)造性的提出了將蒙特卡羅仿真法運(yùn)用在光纖接頭V型微槽超精密加工機(jī)床的誤差預(yù)估上，并詳細(xì)介紹了整個模擬加工工件形狀誤差的方法，取得了良好的模擬效果;同時介紹了均方根原則的相關(guān)理論，并使用均方根原則法對機(jī)床進(jìn)行了誤差預(yù)估。
　　根據(jù)多體系統(tǒng)理論，對光纖接頭V型微槽超精密加工機(jī)床進(jìn)行拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)分析、運(yùn)動鏈分析并建立機(jī)床的誤差模型，使用蒙特卡羅仿真法模擬機(jī)床加工工件的形狀誤差;同時，使用均方根原則模擬機(jī)床加工工件的形狀誤差