非連續(xù)平面的平面形狀誤差測量技術.pdf

1、精密測量是工業(yè)精密加工的重要環(huán)節(jié)之一,一個工件在精加工前后都要進行其形狀的精密測量以便于指導加工和評定工件是否符合加工要求。在大型裝備制造業(yè)當中,經常出現(xiàn)要求高精度加工的情況,需要進行高精度測量的大平面,而現(xiàn)有的平面形狀誤差在線測量系統(tǒng)和方法只適合于測量連續(xù)矩形平面,對于工業(yè)生產中經常出現(xiàn)的非連續(xù)平面,其平面形狀誤差在線測量目前尚無有效方法。
　　 為了實現(xiàn)非連續(xù)平面的平面形狀誤差測量,本文建立了一套平面形狀誤差在線測量系統(tǒng)和方

2、法,該系統(tǒng)使用電渦流傳感器作為距離傳感器,以基于數(shù)字信號處理器的電路作為數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),運用工業(yè)平板電腦實現(xiàn)誤差分離、評定等數(shù)據(jù)處理;測量方法則在時域最小二乘逐次兩點法基礎上,提出了自適應誤差分離矩陣技術,該技術根據(jù)測量數(shù)據(jù)調整時域最小二乘逐次兩點法中的誤差分離矩陣,使最小二乘逐次兩點法能夠用于非連續(xù)平面的平面形狀誤差在線測量,這種最小二乘逐次兩點法稱為自適應矩陣時域最小二乘逐次兩點法。探索了基于不規(guī)則頻域四點法的頻域非連續(xù)誤差分離算法。

3、通過使用自適應矩陣時域最小二乘逐次兩點法,本文實現(xiàn)了對非連續(xù)平面進行平面形狀誤差測量,解決了時域最小二乘逐次兩點法只能對矩形被測面進行測量的缺點。
　　 通過在實際工作環(huán)境下,使用本文所述的非連續(xù)平面的平面度誤差測量系統(tǒng)對連續(xù)平面的平面形狀誤差進行測量實驗,由實驗結果可知系統(tǒng)精度良好;使用自適應矩陣時域最小二乘逐次兩點法對網(wǎng)格數(shù)10乘9的非連續(xù)平面模擬采樣數(shù)據(jù)進行誤差分離實驗,將得到的誤差分離結果與標準的時域兩點法的誤差分離結果