差動電容式加速度傳感器測量系統(tǒng)的研究與應(yīng)用.pdf

1、傳感器技術(shù)作為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)及各項(xiàng)領(lǐng)域的重要技術(shù)基礎(chǔ),是當(dāng)今世界上令人矚目、迅猛發(fā)展的一種高新技術(shù),是一個國家科學(xué)技術(shù)發(fā)展和綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一。作為傳感器的一個重要分支,加速度傳感器受到了越來越多的關(guān)注。
　　電容式加速度傳感器因其靈敏度高、功耗低、溫漂小、結(jié)構(gòu)簡單可靠、非侵入式安裝等特點(diǎn),一直是加速度傳感器敏感結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)重點(diǎn)。論文在分析變間隙差動電容式加速度傳感器原理及傳感器輸出信號特點(diǎn)的基礎(chǔ)上,針對微小電容變化量的測量,設(shè)計(jì)

2、并制作了改進(jìn)型張弛振蕩測量電路;并對電路進(jìn)行了性能測試,測試結(jié)果表明該電路在靈敏度、分辨率、非線性度、零漂等方面均具有良好性能。針對測量電路的輸出信號,設(shè)計(jì)了以 DSP為核心的數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)測量數(shù)據(jù)的處理及上傳功能。上位機(jī)基于LabVIEW虛擬儀器軟件設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)串口數(shù)據(jù)的讀取、文本與曲線結(jié)合的顯示以及測量數(shù)據(jù)完整存儲等功能。最后,對整個測量系統(tǒng)進(jìn)行標(biāo)定和應(yīng)用實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的差動電容式加速度傳感器測量系統(tǒng)運(yùn)行良好,可