一種大量程壓阻式壓力傳感器的設(shè)計(jì).pdf

1、當(dāng)今社會(huì),計(jì)算機(jī)技術(shù)不斷的發(fā)展,信息處理技術(shù)也隨之不斷的發(fā)展完善。而傳感器作為提供信息的一種工具,它的發(fā)展就顯得相對(duì)落后了。傳感器技術(shù)是21世紀(jì)人們?cè)诟咝录夹g(shù)發(fā)展方面爭(zhēng)奪的一個(gè)制高點(diǎn),在當(dāng)代科技領(lǐng)域中占有十分重要的地位。人們開(kāi)始越來(lái)越多的關(guān)注傳感器技術(shù)。近年來(lái),傳感器技術(shù)的研究與開(kāi)發(fā)取得了一定成果,但它遠(yuǎn)不能滿足人們實(shí)際的需求,壓力測(cè)量領(lǐng)域的發(fā)展更為迫脅。在現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中,為了使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或最佳狀態(tài),并使產(chǎn)品達(dá)到最好的

2、質(zhì)量,必須運(yùn)用各種傳感器來(lái)監(jiān)視和控制生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù)。因此,沒(méi)有優(yōu)良的傳感器,現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了根基,我國(guó)在20世紀(jì)90年代后將傳感器的研究放在重要位置上。壓阻式壓力傳感器也是傳感器中最常用的一類傳感器,但是性能不穩(wěn)定,價(jià)格昂貴是我們面臨的一個(gè)問(wèn)題。如何讓傳感器不僅在航天領(lǐng)域廣泛應(yīng)用,在民用領(lǐng)域也有廣闊市場(chǎng)呢,就需要我們生產(chǎn)的傳感器高質(zhì)量低成本。
　　本論文對(duì)壓阻式壓力傳感器的原理進(jìn)行了深入的研究,依據(jù)壓阻效應(yīng)原理,采用硅微

3、機(jī)械加工技術(shù),制作敏感探頭,經(jīng)過(guò)信號(hào)調(diào)理電路進(jìn)行放大、歸一化處理,輸出所需要的信號(hào)。由于該傳感器需要應(yīng)用到惡劣的環(huán)境條件下,因此本設(shè)計(jì)對(duì)溫度補(bǔ)償電路進(jìn)行了完善的設(shè)計(jì),并充分考慮了傳感器的電磁兼容性及可靠性,使傳感器具有較高穩(wěn)定性,能承受嚴(yán)酷的環(huán)境條件。本研究設(shè)計(jì)的壓阻式壓力傳感器已通過(guò)試驗(yàn)考核合格,它的性能是其它傳感器無(wú)法比擬的,它全金屬結(jié)構(gòu)可以承受嚴(yán)酷的環(huán)境條件。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,量程范圍大、精度高、產(chǎn)品性能穩(wěn)定及小型化等特點(diǎn)。由于該傳