V槽光學元件模壓模具精密磨削工藝研究.pdf

1、隨著應(yīng)用需求的驅(qū)動，將超精密加工技術(shù)和復(fù)制加工技術(shù)相結(jié)合，利用超精密加工技術(shù)加工出復(fù)制過程所需的微結(jié)構(gòu)模具，再利用高精度的微結(jié)構(gòu)模具復(fù)制加工出微結(jié)構(gòu)光學功能元件無疑是微光學元件最為理想的大批量生產(chǎn)的加工方法。復(fù)制過程中，微結(jié)構(gòu)模具的加工精度與表面質(zhì)量對最終復(fù)制出的光學元件的性能起著決定性的作用，但由于超硬模具材料的難加工性，目前對于此類材料微細結(jié)構(gòu)的加工，采用金剛石砂輪進行精密磨削加工是最為有效的方法。
　　本研究采用青銅結(jié)合劑金

2、剛石砂輪進行超硬模具材料碳化鎢J05 V形槽的精密成形磨削試驗，金屬結(jié)合劑金剛石砂輪耐磨性好，磨料層強度高，磨削過程無需頻繁修整。磨削前先對砂輪進行電火花修整，然后通過試驗研究磨削深度、砂輪轉(zhuǎn)速等磨削參數(shù)的變化對最終磨削效果的影響，同時探究磨削過程中砂輪的磨損情況，本文主要就以下幾方面的內(nèi)容展開研究。
　　(1)精密磨削前首先對金剛石砂輪進行電火花精密修整并對修整情況進行評價，保證砂輪表面良好的磨粒出刃情況及較高的V形尖端形貌精度

3、。
　　(2)然后進行碳化鎢J05的平面磨削試驗，探究磨削工藝參數(shù)的變化對磨削力及最終磨削表面質(zhì)量的影響規(guī)律;同時對磨削表面進行光磨試驗，考察光磨次數(shù)對磨削表面粗糙度的影響，為后續(xù)V形槽陣列的精密磨削提供樣件準備及試驗依據(jù)。
　　(3)最后對碳化鎢J05工件進行V形槽精密磨削試驗，探究磨削過程中工藝參數(shù)的變化對V形槽底部圓弧半徑及磨削力的影響規(guī)律，然后結(jié)合平面磨削的試驗結(jié)果選取最優(yōu)工藝參數(shù)組合進行V形槽的精密成形磨削并對V形