超凈高純試劑氫氟酸除砷方法的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、TSVL<'*>級40％的氫氟酸是應用于大規(guī)模集成電路的一種超凈高純試劑.在集成電路中用于清洗、腐蝕劑.該文對超凈高純試劑TSVL級40％的氫氟酸的生產、提純及分析作了介紹.并重點研究了如何降低砷雜質含量的方法.大膽地引用了無水氫氟酸的提純方法,應用于氫氟酸水溶液的提純,得到了滿意的效果,對選擇適當?shù)难趸瘎┳隽舜罅康膶嶒?確立了一條最佳的除砷路線.即采用過氧化氫做氧化劑,對40％的氫氟酸內所含的砷雜質進行氧化用以改變砷雜質的價態(tài),使砷雜

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