一種新型可折疊場致發(fā)射陰極制備工藝研究.pdf

1、場致發(fā)射顯示器(FED)兼具陰極射線管(CRT)的高亮度、高發(fā)光效率、寬視角、響應(yīng)速度快、耐嚴(yán)酷的高低溫和液晶顯示器(LCD)的薄型、低功耗等特性。在發(fā)光效率、亮度、視角、功耗等方面具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢，因此FED被認(rèn)為是最有前途的平板顯示器件。 本論文圍繞著一種可折疊的場致發(fā)射陰極開展了一系列理論與實(shí)驗(yàn)工作，全文主要研究工作包括以下幾個(gè)部分： (1)通過對國內(nèi)外場致發(fā)射陰極制備的歷史現(xiàn)狀的研究和各種工藝特點(diǎn)的比較分析，在本研

2、究中確定采用濕法腐蝕微加工工藝制備倒微錐孔洞陣列母模，利用此制備聚合物陣列微錐襯底，并采用脈沖激光沉積GaN薄膜制備場致發(fā)射陰極的工藝方案。 (2)研究了場致發(fā)射的相關(guān)基礎(chǔ)理論，從理論上討論了場致發(fā)射電流與發(fā)射體的關(guān)系，為微錐場致陰極的制備提供理論依據(jù)。 (3)討論了脈沖飛秒激光沉積GaN薄膜以及脈沖納秒激光沉積GaN薄膜的物理過程和機(jī)理。 (4)分別采用飛秒脈沖激光和納秒脈沖激光在聚合物微錐陣列上沉積GaN涂層