電子散斑干涉及位移場(chǎng)分離.pdf

1、光學(xué)是物理學(xué)中古老的一門應(yīng)用性較強(qiáng)的基礎(chǔ)學(xué)科,光學(xué)的起源應(yīng)追溯到遠(yuǎn)古時(shí)代(我國(guó)春秋戰(zhàn)國(guó)時(shí)期).之后的二千多年漫長(zhǎng)歲月構(gòu)成了光學(xué)發(fā)展的萌芽時(shí)期,它是光學(xué)發(fā)展史上一段緩慢前進(jìn)的年代.一電子散斑干涉計(jì)量是光學(xué)測(cè)量技術(shù)的一個(gè)重要分支.它利用相干光照射在粗糙的物體表面,在空間所形成的散斑,或物體表面自然存在的或人造的斑粒,實(shí)現(xiàn)物體表面位移和變形檢測(cè).在過去的30多年中,除了對(duì)散斑場(chǎng)自身的特性和規(guī)律給予深入的研究外,有多種散斑測(cè)量技術(shù)逐漸發(fā)展和建立

2、起來,并在不同的領(lǐng)域中獲得了廣泛的應(yīng)用. 電子散斑干涉測(cè)量技術(shù)是一種現(xiàn)代高科技光測(cè)方法,它具有全場(chǎng)、非接觸、高精度、高靈敏度、不避光、不照相、不需要特殊防震、快速實(shí)時(shí)并可在線檢測(cè)等優(yōu)點(diǎn).被廣泛的應(yīng)用于汽車、防偽、工業(yè)測(cè)量、機(jī)械、土木、水利、電器、天文、航空航天、兵器工業(yè)、信息處理、表面粗糙度、三維面型測(cè)量及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的檢測(cè)中. 本文就電子散斑干涉及位移場(chǎng)分離等方面進(jìn)行了研究和探討,主要內(nèi)容概括如下: 1.回顧

3、了散斑現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)、發(fā)展、分類及應(yīng)用.從光的干涉測(cè)量著手,先后介紹了電子散斑干涉現(xiàn)象,電子散斑干涉測(cè)量的特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn),電子散斑干涉測(cè)量的發(fā)展前景,激光散斑干涉測(cè)量方法. 2.介紹了相移相位測(cè)量法、傅里葉變換相位測(cè)量法、ESPI條紋圖的頻域?yàn)V波方法、分析了散斑干涉圖像的特征. 3.總結(jié)了位移場(chǎng)分離的幾種方法.提出了利用單幅電子散斑物體變形相位圖分離二維分量的方法.傳統(tǒng)電子散斑干涉技術(shù)測(cè)量得到的是物體變形的混合相位場(chǎng).當(dāng)物體具有