隧道狀態(tài)下納米級振動檢測技術(shù)的研究.pdf

1、振動是提高納米測量精度的主要障礙之一.抗振、隔振、振動補償技術(shù)成為納米測量領(lǐng)域中的一大分支,特別是納米級振動測試技術(shù)的發(fā)展,對于納米學(xué)科的研究具有非常重要的意義.該課題從對STM的振動敏感性的分析出發(fā),對基于隧道效應(yīng)的納米級振動的理論、技術(shù)及測試方法進行了初步的研究和探索,分析了振動對STM的影響.該文使用納米級的微動平臺作為調(diào)整機構(gòu),配合自行研制的隧道電流傳感器,通過外加振動源,在隧道狀態(tài)下對納米級振動進行了檢測實驗.實驗表明基于隧道

2、效應(yīng)的振動檢測系統(tǒng)具有很高的靈敏度,良好的頻率特性和與STM一致的振動響應(yīng)特性,可以為STM提供振動補償,提高此類儀器的測量精度.該文的主要研究內(nèi)容是:1.通過分析STM對振動的敏感性,提出基于隧道效應(yīng)的納米級振動測試方法的設(shè)計.2.詳細研究了隧道電流的變化規(guī)律,設(shè)計了適用于隧道電流的前置放大電路及電學(xué)系統(tǒng).3.構(gòu)建振動檢測裝置,能夠?qū){米級的振動進行檢測.4.進行了隧道電流傳感器的靜態(tài)、動態(tài)特性的檢測試驗,并對傳感器靜態(tài)特性進行了標定