單片三軸微加速度計結(jié)構(gòu)設(shè)計與加工工藝優(yōu)化.pdf

1、隨著導(dǎo)航技術(shù)、制導(dǎo)技術(shù)等領(lǐng)域的發(fā)展，加速度計等慣性器件在軍事民用等領(lǐng)域的應(yīng)用愈加廣泛。單片三軸微加速度計同時具備三個方向加速度的檢測能力，并且相對于組合式三軸微加速度計具有更小的體積、更低的成本，從而迅速成為研究熱點。
　　本教研室微加速度計的研究經(jīng)歷四代的發(fā)展，在基本結(jié)構(gòu)、封裝方式、檢測電路、數(shù)據(jù)處理等方面均進(jìn)行了諸多設(shè)計，但總體性能依然不能滿足要求。本文在前人研究的基礎(chǔ)上進(jìn)行了進(jìn)一步優(yōu)化，主要工作有：
　　1.結(jié)構(gòu)優(yōu)化：

2、包括加速度計總體尺寸的縮小、應(yīng)力釋放結(jié)構(gòu)優(yōu)化、新型玻璃-硅-玻璃三層結(jié)構(gòu)設(shè)計與優(yōu)化。
　　2.工藝優(yōu)化：重點研究了新型凸角補(bǔ)償方式、防吸附設(shè)計、三層鍵合技術(shù)等適應(yīng)于三層結(jié)構(gòu)的加工工藝。
　　3.檢測電路的設(shè)計：對常用電路進(jìn)行對比分析，并確定了本文加速度計采用反向?qū)ΨQ激勵電路。
　　4.標(biāo)定和解耦算法優(yōu)化設(shè)計：在理想系統(tǒng)標(biāo)定解耦方法的基礎(chǔ)上通過對實際系統(tǒng)存在的誤差進(jìn)行分析，得到四質(zhì)量塊三軸微加速度計實際系統(tǒng)的輸入輸出模型