高g值硅微加速度計的結構設計與分析.pdf

1、　　本文在對各種硅微傳感器特點進行比較的基礎上，選擇了適用于高沖擊環(huán)境，有較高抗過載性能的電容式硅微加速度傳感器作為研究對象。對其工作原理和數學模型進行了闡述和研究?！　≡谠敿氷U述了電容式加速度計工作原理的基礎上，選擇扭擺式加速度傳感器作為設計對象，根據高g值加速度計的性能要求，設計計算了加速度計的結構尺寸，并對結構尺寸對其性能的影響進行了分析。找到了影響高g值加速度計性能的關鍵尺寸因素，例如支承軸寬度和長度尺寸?！　∈褂糜邢拊椒?/p>

2、，對計算得到的高g值加速度計結構進行了靜力學和動力學仿真，以驗證該結構的抗高過載能力、在高g值環(huán)境下結構的應力分布情況，驗證結構的諧振頻率和對高沖擊信號的響應情況；同時使用ANSYS的壓膜阻尼分析功能，對扭擺式高g值加速度計中的壓膜阻尼進行了分析計算，得到一套計算壓膜阻尼的方法，根據計算結果，發(fā)現在扭擺式高g值電容加速度計中壓膜阻尼對結構影響甚微，可以忽略?！　〈_定加速度計結構尺寸以后，采用MEMS專業(yè)軟件MEMSPro4.0進行了版