電子散斑微變形、面形測量的相關技術研究.pdf

1、電子散斑干涉測量技術是光學測量技術的重要分支。電子散斑干涉測量技術是利用條紋分析實現(xiàn)變形的無損測量，具有非接觸、全場性、精度高的特點，近二十年來已成為測量變形場的重要方法。電子散斑干涉術通過在被測物體表面產生干涉條紋(載頻調制條紋)，分析位移場與物面高度之間的關系，可測量物面的形貌。該方法基于光的干涉，測量靈敏度高。電子散斑面形測量技術基于傳統(tǒng)的電子散斑干涉技術，具有電子散斑干涉技術的一系列優(yōu)點。
　　本文就電子散斑干涉結合傅里葉

2、變換法用于物體變形、面形測量進行了研究與討論，主要內容是:
　　1.介紹了散斑的成因、產生方法及相關概念；回顧了散斑干涉計量的起源與發(fā)展；系統(tǒng)介紹了電子散斑干涉的原理及散斑干涉中的位相測量技術。
　　2.回顧了物體變形及面形測量的發(fā)展過程，重點介紹了電子散斑干涉載頻調制和傅里葉變換法相結合的測量物體形貌的方法。
　　3.根據(jù)電子散斑干涉載頻調制測量物體形貌的基本原理，物體表面的微小偏轉可引入包含物體高度信息的載波干涉條

3、紋。物體的偏轉使物體表面產生離面位移與面內位移。將物體由于變形而產生的相位差與物體由于偏轉而產生的相位差進行對應比較，得出了離面位移引入了載波，面內位移引入了含有物體高度信息相位的結論?；谶@種結論對電子散斑干涉載頻調制可用的幾種形貌測量方法進行了討論，比較得出利用典型電子散斑干涉系統(tǒng)測量物體形貌，載波條紋與物面對載波條紋的調制均比較明顯，容易利用傅立葉變換解調出含有物體高度信息的相位，并通過實驗得到了驗證。
　　4.參與設計了一