光學(xué)自由曲面檢測光路方案及關(guān)鍵部件設(shè)計研究.pdf

1、自由曲面光學(xué)元件有諸多優(yōu)點，在光學(xué)成像系統(tǒng)中使用時，不僅可以有效校正系統(tǒng)像差、提高成像質(zhì)量，還可以減少系統(tǒng)單元數(shù)量及重量。在高性能照明系統(tǒng)設(shè)計中使用，可以有效提高光能利用率，為設(shè)計提供了相當(dāng)大的自由度。盡管如此，光學(xué)自由曲面還不能進(jìn)入到現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的主流中去，問題之一就是高精度、快速檢測技術(shù)。
　　 本文通過對光學(xué)自由曲面面形特征及描述方法的學(xué)習(xí)，總結(jié)了在光學(xué)設(shè)計中光學(xué)自由曲面的表達(dá)方式。研究了目前光學(xué)自由曲面的檢測方法，并進(jìn)行

2、分析比較，選出一種最具優(yōu)勢的方法--在干涉光路中引入微透鏡陣列產(chǎn)生多視場干涉圖檢測光學(xué)自由曲面。本文圍繞這一檢測方法進(jìn)行分析，得出在干涉光路中起關(guān)鍵作用的兩個光學(xué)元件：微透鏡陣列和有限共軛等暈型標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組。分別對這兩個元件進(jìn)行分析，首先研究了傳統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組的特點和工作原理，分析了有限共軛等暈型標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組的特點及工作原理，通過對其進(jìn)行基本的像差分析，確定可行的光學(xué)結(jié)構(gòu)，通過優(yōu)化分析，最終設(shè)計出兩組符合要求的標(biāo)準(zhǔn)球面透鏡組，PV