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文檔簡介
1、本文針對(duì)頂部籽晶提拉法(以下簡稱TSSG法)晶體生長中的流動(dòng)傳熱過程，開發(fā)完成一套數(shù)值模擬程序FETSSG，數(shù)值結(jié)果包括在一定工藝參數(shù)、材料物性及晶體尺寸下單晶爐內(nèi)的溫度分布及液流速度分布。數(shù)值模擬程序采用APDL語言編寫，在有限元分析軟件ANSYS上運(yùn)行。文中介紹了基于FETSSG獲得的一部分?jǐn)?shù)值模擬結(jié)果，其中包括：TSSG單晶爐內(nèi)的溫度場分布；熔體內(nèi)的液流速度場及溫度場。這些數(shù)值結(jié)果與實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)相符，具有一定參考價(jià)值。
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