激光晶體生長自動直徑控制（ADC）技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本課題的主要研究對象是激光晶體生長設備中的核心技術—自動直徑控制(ADC)技術。自動直徑控制技術是Czochralski法(簡稱：Cz法)晶體生長設備的一項關鍵技術，隨著晶體生長向優(yōu)質(zhì)大尺寸方向發(fā)展以及坩堝內(nèi)投料量的加大，對晶體直徑測量和精度控制的要求也愈來愈高，研究開發(fā)技術先進、精度高、性能穩(wěn)定可靠的自動直徑控制(ADC)系統(tǒng)，對于大幅提升國產(chǎn)晶體生長設備的自動化程度和產(chǎn)品質(zhì)量是非常必要的。 本課題依據(jù)激光晶體生長的工藝要求，

2、在多年研究工作的基礎上開發(fā)了一種性能先進的上稱重法自動直徑控制系統(tǒng)。分析了上稱重法自動直徑控制技術的工作原理，從理論上給出了控制模型，在此基礎上，研究了實現(xiàn)上稱重法自動直徑控制的機械結構、真空密封、電氣控制、系統(tǒng)標定等關鍵技術，實現(xiàn)了晶體瞬時生長速率精確而平穩(wěn)的自動控制，成功生長出φ2-3英寸Nd：YAG晶體及LiNbO3晶體，解決了激光晶體生長中自動直徑控制的難題。通過對該系統(tǒng)的靜態(tài)試驗及用戶的實際生產(chǎn)狀況來看，該上稱重法自動直徑控制

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