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文檔簡介
1、基于表面等離激元的光電子器件憑借其尺寸小、速度快以及能夠克服光衍射極限等特點，為微納光子學(xué)亞波長器件的研究提供了新途徑和新方法。本文基于貴金屬金和銀膜層中表面等離激元共振效應(yīng)設(shè)計了不同的分光器件，并利用時域有限元計算法對表面等離激元在器件表面的傳輸性質(zhì)進(jìn)行了研究。
首先，利用金屬膜表面的槽狀缺陷對表面等離激元進(jìn)行激發(fā)，然后根據(jù)表面等離激元在傳播過程中的干涉效應(yīng)，設(shè)計了三種基于電介質(zhì)和金屬膜層的三明治波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的光分束器，以實現(xiàn)對
2、傳播的表面等離激元進(jìn)行分束的功能。其中，Si3N4-Ag-Si波導(dǎo)結(jié)構(gòu)對光波長為694.3nm激發(fā)的表面等離激元的分束效果較差；而Au-Si3N4-Au和Au-Si3N4-Ag波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的分束效果較好，并且Au-Si3N4-Ag波導(dǎo)結(jié)構(gòu)具有更高的傳輸距離。
最后，基于電介質(zhì)和金屬膜層的三明治結(jié)構(gòu)，設(shè)計了Si3N4-Ag-Si和Au-Si3N4-Ag的表面等離激元波導(dǎo)光分波器，以實現(xiàn)對694.3nm和753.1nm波長激發(fā)的表面等
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