某加速度計(jì)撓性零件的微細(xì)電解加工技術(shù)研究.pdf

1、隨著微納米技術(shù)的快速發(fā)展，微細(xì)電解加工技術(shù)已成為先進(jìn)制造技術(shù)的一個重要方面。微細(xì)電解加工技術(shù)可以解決傳統(tǒng)加工方法不能實(shí)現(xiàn)或難以實(shí)現(xiàn)的難切削金屬材料微小型零件的加工制造問題。針對某軍用飛機(jī)加速度計(jì)的薄壁撓性零件存在的加工難題（彈性材料難切削、結(jié)構(gòu)尺寸微小成形加工困難等），利用微細(xì)電解加工方法對撓性零件上的矩形微槽和梯形狀微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了工藝研究，對彈性材料微結(jié)構(gòu)的加工難題的解決和微細(xì)電解加工方法的發(fā)展都具有促進(jìn)作用。
　　在微細(xì)電解加工

2、理論研究基礎(chǔ)上，分析了彈性材料3J21的組成成分，選擇了合適的電解液，并進(jìn)行了工藝參數(shù)（加工電壓、進(jìn)給速度、脈沖寬度、電解液濃度等）對彈性材料電解加工精度影響的基礎(chǔ)性實(shí)驗(yàn)，得到加工彈性材料所需較優(yōu)的工藝參數(shù)組合。通過研究分析微細(xì)圓柱電極制作原理和成形規(guī)律，采用微細(xì)圓形孔在線電解反拷成形方法，成功制作出實(shí)驗(yàn)所需的工作段直徑為10μm的多階微細(xì)圓柱電極。在分析撓性零件結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，制定了梯形狀微結(jié)構(gòu)和矩形微槽結(jié)構(gòu)的微細(xì)電解銑削加工工藝方案。

3、利用微細(xì)電解行銑方法加工出了上底寬1.305mm、下底寬0.503mm、高為0.403mm的梯形狀微結(jié)構(gòu)。采用粗、精加工兩個階段進(jìn)行了矩形微槽結(jié)構(gòu)的微細(xì)電解銑削加工:利用直徑為80μm的微細(xì)圓柱電極通過行銑進(jìn)行粗加工，并為精加工留一定加工余量;采用直徑為10μm底面絕緣的微細(xì)圓柱電極對矩形微槽的側(cè)面進(jìn)行環(huán)形精修，然后利用側(cè)面絕緣的多階微細(xì)圓柱電極對矩形微槽的底面進(jìn)行平面行銑，成功加工出槽寬為150.6μm、槽底厚度為10.5μm、槽底半