微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)性能改進(jìn)及系統(tǒng)測(cè)試.pdf

1、為了達(dá)到實(shí)驗(yàn)室研制的微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(Micro/Nano-CMM)能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)微結(jié)構(gòu)三維特征尺寸的高精度測(cè)量的目的，本文主要做了如下幾項(xiàng)工作:
　　1、解決了微納米三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)Z軸的驅(qū)動(dòng)控制方面存在的問題，使Z軸能夠靈活、平穩(wěn)的實(shí)現(xiàn)不同模式的直線運(yùn)動(dòng)。
　　2、解決了Z軸長度測(cè)量傳感器線性衍射光柵干涉儀(LDGI)輸出信號(hào)不穩(wěn)定的問題，改進(jìn)了干涉信號(hào)的質(zhì)量，提高了位移解析的分辨率及精度。
　　3、對(duì)該坐標(biāo)測(cè)量機(jī)使用的

2、接觸掃描式探頭進(jìn)行了結(jié)構(gòu)及信號(hào)處理方法上的改進(jìn)，對(duì)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的探測(cè)誤差進(jìn)行了分離和校正，使探頭的三維測(cè)微重復(fù)性達(dá)到:X、Y軸優(yōu)于20nm，Z軸優(yōu)于4nm。
　　4、對(duì)單軸進(jìn)行定位誤差的補(bǔ)償，主要是利用基于自準(zhǔn)直儀原理的角度測(cè)量傳感器感測(cè)出機(jī)臺(tái)在直線運(yùn)動(dòng)過程中的俯仰偏擺角，以此補(bǔ)償長度測(cè)量中的阿貝誤差，大大提高了定位精度。
　　5、在恒溫(20±0.03℃)、隔振的實(shí)驗(yàn)條件下，對(duì)該坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行了系統(tǒng)的測(cè)試，包括對(duì)標(biāo)準(zhǔn)件的平面