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文檔簡介
1、光學相干層析成像技術(Optical Coherence Tomography, OCT)是上個世紀90年代誕生的一種全新的生物檢測成像技術。目前為止,OCT在生物醫(yī)學領域,尤其是眼科學應用已經(jīng)十分廣泛,但實際上OCT還可以應用于微細結構測量、缺陷檢測等工業(yè)領域。
由于許多工業(yè)材料表面和亞表面有著微米甚至亞微米級結構,因此對這些材料的檢測就要求檢測系統(tǒng)具有超高的分辨率。對于高分辨率的要求,本文研制了一種基于邁克爾遜干涉儀的自由
2、空間超高分辨譜域光學相干層析成像(SD-OCT)系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用超連續(xù)激光光源,中心波長為650nm(需要指出650nm是從光源中濾出的有效光譜的中心波長),光譜半高寬為260nm,可以實現(xiàn)0.9μm的超高軸向分辨率。軸向掃描速率為28600A-lines/s,每個A-line的光譜用2048像素的線陣CCD接收,橫向分辨率3.9μm,橫向視場1mm,在空氣中成像深度大于0.6mm。利用了研制的超高分辨譜域OCT系統(tǒng),開展了一系列的研究
3、,包括消除色散算法的研究,具有精細結構樣品的檢測,納米級薄膜厚度的測量。此外,在超高分辨譜域OCT系統(tǒng)的基礎上研制了基于受激輻射的譜域OCT系統(tǒng)。常規(guī)的譜域OCT是通過組織的后向散射光來獲取干涉信號,具有分子特性信息的元素對于某些疾病的前期檢查又是至關重要的,比如皮膚中的黑色素含量是診斷黑色素瘤的評價標準,普通的OCT只能對生物組織結構進行成像,而對這種具有分子特性的元素分布信息是無法獲取的。如果OCT系統(tǒng)既可以在組織表層實現(xiàn)微米量級分
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