小像差壓電變形鏡制造技術(shù)研究.pdf

1、自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)中，反射式波前校正器因具有高響應(yīng)速度、可實(shí)時(shí)校正波前而得到廣泛應(yīng)用。在眾多類型的變形反射鏡中，分立壓電式連續(xù)鏡面變形鏡因表面沒有間斷點(diǎn)、能承受較大功率等優(yōu)點(diǎn)，已成功應(yīng)用于國內(nèi)外多個(gè)自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。但是將自適應(yīng)光學(xué)應(yīng)用于全息光學(xué)技術(shù)中未見報(bào)道。本文將自適應(yīng)光學(xué)技術(shù)引入全息記錄光學(xué)系統(tǒng)中，研究了一種具有小像差特征的壓電變形鏡，用以實(shí)現(xiàn)全息光學(xué)記錄系統(tǒng)的像差補(bǔ)償。
　　 論文首先介紹了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中變形鏡的國內(nèi)外研究現(xiàn)

2、狀、變形鏡的結(jié)構(gòu)和主要性能，使用影響函數(shù)的概念對(duì)變形鏡的面形進(jìn)行描述，并選用有限元法確定影響函數(shù)，用ANSYS軟件對(duì)變形鏡進(jìn)行了有限元分析。
　　 變形鏡總的變形量是各個(gè)促動(dòng)器的影響函數(shù)綜合作用的結(jié)果，本文使用最小二乘法校正畸變波前，分別對(duì)19單元和37單元變形鏡的校正能力進(jìn)行了計(jì)算分析。19單元變形鏡基本能滿足校正初級(jí)像差的要求，單元數(shù)增多后，變形鏡的校正能力顯著提高。最后利用自行制作的19單元變形鏡進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。使用干涉儀測得