碳納米管薄膜陰極電泳電鍍法制備及場發(fā)射性能研究.pdf

1、碳納米管（CNT）擁有獨(dú)特的機(jī)械、化學(xué)和電子方面特性，使得它在不同的領(lǐng)域呈現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用，特別在平板顯示領(lǐng)域。所以，探索碳納米管場發(fā)射性能是一項(xiàng)非常重要的課題。采用設(shè)備簡單的電泳和電鍍法，制作了場發(fā)射性能優(yōu)異、成本低的鍍覆銀結(jié)晶顆粒碳納米管薄膜陰極，研究了電泳對碳納米管薄膜陰極的場發(fā)射性能影響和電鍍鍍覆銀結(jié)晶顆粒對薄膜陰極場發(fā)射性能的影響，取得了一定研究結(jié)果。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴選擇氧化銦錫玻璃的透明ITO膜為電泳和電鍍的

2、導(dǎo)電電極，采用光刻和濕法刻蝕技術(shù)制備了平柵極結(jié)構(gòu)圖形化的導(dǎo)電極。勻膠機(jī)設(shè)置為前轉(zhuǎn)3000r/min，時(shí)間3s和后轉(zhuǎn)5000r/min，時(shí)間30s制備了厚度為1149nm均勻膠膜；光刻膠曝光3s和顯影10s后得到了圖形清晰的光刻膠圖案；在35℃溫度下刻蝕310s制備了平柵極結(jié)構(gòu)圖形的導(dǎo)電極。⑵利用電泳法在圖形化的陰極ITO玻璃表面上沉積了碳納米管薄膜，詳細(xì)了研究了不同電泳工藝參數(shù)對碳納米管薄膜的表面形貌及場發(fā)射性能的影響，當(dāng)電泳液中碳納米

3、管濃度為0.1g/L和硝酸鋁濃度0.066g/L時(shí)，在電壓為100v時(shí)電泳60s得到了最優(yōu)的碳納米管薄膜，其表面形貌及場發(fā)射性能最佳。⑶為了改善電泳法制備的碳納米管與ITO表面之間電化學(xué)接觸，提高碳納米管薄膜的場發(fā)射性能，采用電鍍法在碳納米管薄膜表面鍍覆銀結(jié)晶顆粒。退火后，銀結(jié)晶顆粒熔接了碳納米管與 ITO薄膜表面，利用納米銀優(yōu)異的導(dǎo)電性有效改善了碳納米管與ITO薄膜表面的接觸，消除了碳納米管與ITO薄膜表面之間的界面勢壘，有效的改善了