玻璃-PDMS復(fù)合微流控芯片上氣動(dòng)微泵的研制及性能研究.pdf

1、微流控芯片分析系統(tǒng)(μTAS)操作的核心是對(duì)微流體的控制，而研究與微通道相適應(yīng)的微流體驅(qū)動(dòng)技術(shù)(微泵)是實(shí)現(xiàn)微流體控制的前提和基礎(chǔ)。本文在對(duì)近幾年來μTAS領(lǐng)域有關(guān)微泵的研究報(bào)道進(jìn)行綜述的基礎(chǔ)上，研究制備了一種用于微流控芯片的改進(jìn)型玻璃-PDMS氣動(dòng)致動(dòng)微閥，并對(duì)氣動(dòng)微閥的性能進(jìn)行了考察?！　≡诖嘶A(chǔ)上，進(jìn)一步將多個(gè)氣動(dòng)微閥平行排列集成在一個(gè)復(fù)合芯片上，構(gòu)成玻璃-PDMS復(fù)合芯片上的蠕動(dòng)型氣動(dòng)微泵。同時(shí)，采用VisualBasic程序

2、語(yǔ)言編制并行接口控制程序，經(jīng)自行設(shè)計(jì)的放大電路作用后驅(qū)動(dòng)兩位三通電磁閥，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣動(dòng)微泵各氣路間的切換的控制?！　⊙芯拷Y(jié)果表明，采用AZ4620玻璃陽(yáng)模制備的微閥微泵芯片操作穩(wěn)定性高；采用復(fù)合芯片結(jié)構(gòu)的微閥微泵芯片，既降低了芯片加工難度和成本，其整體剛性強(qiáng)度又得到大大提高，并增強(qiáng)了芯片與外氣路和外流路連接的可靠性。氣動(dòng)微泵可以給出的最大泵流量為1.6μL/min，最大泵壓為155cmH2O，泵流量和泵壓取決于氣路切換頻率、液流通道寬度、