用于衍射空間成像的連續(xù)變空頻干涉光刻技術(shù).pdf

1、由于數(shù)字像素全息圖的光柵像素尺寸小、所含空間頻率高,因此,系統(tǒng)對連續(xù)變頻機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計、光刻穩(wěn)定性、能量利用率等方面都必須綜合考慮.目前,實現(xiàn)連續(xù)變空頻干涉條紋光刻具有一定難度.該文設(shè)計了空間光調(diào)制器(LCD-SLM)的雙光束干涉光刻系統(tǒng),將LCD-SLM置于Fourier變換透鏡的前焦面,在后焦面上雙光束聚焦干涉得到微小干涉點(光柵像素點).系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)干涉點空頻實時連續(xù)地改變,且結(jié)構(gòu)簡單經(jīng)濟(jì),穩(wěn)定性好,光刻圖像分辨率高及可調(diào),形成的光

2、刻點陣具有衍射空間成像的優(yōu)點.相對光柵型分光干涉光刻系統(tǒng),采用Fourier變換干涉法的光刻系統(tǒng)能量利用率較低,系統(tǒng)適合光刻圖像面積較小的數(shù)字像素全息制作,尤其適合于制作激光衍射再現(xiàn)的隱性加密信息的空間成像.文中推導(dǎo)了點光柵空頻和取向的具體計算公式,編寫了相應(yīng)的控制程序,給出了實驗結(jié)果.在附件1中,還進(jìn)行了具有非對稱槽型的衍射光柵的實驗制作,給出了理論分析和實驗結(jié)果.該工藝對今后研制不同槽型分布的衍射光柵元件提供了參考.文中以色分離光柵