已閱讀1頁，還剩74頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領
文檔簡介
1、 本文采用微波等離子體化學氣相沉積(MPECVD)方法，制備出高密度(108個/cm2)的尖錐頂端覆蓋有碳化硅(SiC)顆粒的硅納米尖錐陣列，納米尖錐高徑比為40，結(jié)構(gòu)有利于場致電子發(fā)射。同時，提出“納米顆粒自組裝沉積輔以氫氣等離子體刻蝕的機制”對硅納米尖錐形成的機理進行了解釋。 通過氫氣等離子體處理的方法將上述尖錐頂端的SiC顆粒轉(zhuǎn)化為非晶硅(a-Si)顆粒，同時銳化了尖錐。在此基礎上，采用化學腐蝕法獲得了尖錐頂端沒有覆蓋顆粒的
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 若干新型納米材料的物理特性及局域場致電子發(fā)射特性的研究.pdf
- 碳氮納米管的制備、表征及場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 復合型尖錐場發(fā)射陣列制備工藝研究.pdf
- 硅納米線的制備及場發(fā)射特性研究.pdf
- 18556.復合尖錐場發(fā)射陣列研究
- 單根氧化鎢納米尖的激光點焊組裝及其場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 基于納米結(jié)構(gòu)的場致電子發(fā)射研究.pdf
- 柔性襯底上納米氧化鋅的制備、表征和場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 熱絲法制備氧化鎢納米結(jié)構(gòu)及其場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 氮化碳薄膜場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 碳納米管陣列制備及場致發(fā)射特性研究.pdf
- TiO2納米管有序陣列膜的可控碳摻雜及其場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 場發(fā)射冷陰極錐尖制備及其性能研究.pdf
- CNTs-TiO2-Ti納米復合結(jié)構(gòu)及其場致電子發(fā)射特性研究.pdf
- 場致電子發(fā)射硅一維納米材料的研制及其器件應用探索.pdf
- 硅微尖的場發(fā)射電子能譜.pdf
- 準一維硅納米材料的制備及其場發(fā)射特性.pdf
- 硅納米孔柱陣列及其金-銅復合體系的制備、結(jié)構(gòu)與場發(fā)射特性.pdf
- 硅微尖錐陣列頂端微納材料的定位制備研究.pdf
- 若干新型場致電子發(fā)射材料的研制及其器件應用基礎研究.pdf
評論
0/150
提交評論