基于光學(xué)倍程的納米位移計量系統(tǒng)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、納米位移計量以高精度以及高分辨率的位移測量為特點，通常精度和分辨率越高的儀器其結(jié)構(gòu)及成本更加復(fù)雜，實現(xiàn)困難，針對該情況，本論文采用光學(xué)倍程的方法，結(jié)合激光干涉技術(shù)，從信號源上提高系統(tǒng)的測量分辨率，最終提高測量精度。本文的主要工作如下：
　?。?）研究了干涉測量理論，并采用光學(xué)倍程的結(jié)構(gòu)設(shè)計了納米位移傳感器的光路結(jié)構(gòu)，包括光路的調(diào)整裝置。該光路結(jié)構(gòu)簡單，成本低，且容易實現(xiàn)，并在此基礎(chǔ)上對倍光程后的干涉條紋信號對比度以及頻率和幅值進行

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