小角度XRD的實(shí)現(xiàn)及應(yīng)用.pdf

1、隨著大規(guī)模集成電路集成度的提高、太陽能電池板的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展以及納米級(jí)別薄膜制備技術(shù)的飛速發(fā)展,半導(dǎo)體電子器件正逐步向小型化、薄膜化方向發(fā)展,高精度無損薄膜測(cè)試技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)迫在眉睫。一方面,由于常規(guī)的無損測(cè)量技術(shù)如光學(xué)干涉法測(cè)量厚度,這種方法只能測(cè)試透明的,厚度均勻的固態(tài)薄膜,因此無法滿足目前器件工藝的測(cè)試要求。而另一方面,由于小角X射線衍射所獲得的樣品表面的的信息主要來自薄膜1-10nm內(nèi)的信息,可以精確測(cè)定納米數(shù)量級(jí)薄膜樣品的膜厚和結(jié)

2、構(gòu)信息。
　　小角X射線衍射技術(shù)因?yàn)槠渲茦臃奖?實(shí)驗(yàn)后樣品不被破壞并且測(cè)得的樣品的信息具有精度高,以及測(cè)量速度快等特點(diǎn),被認(rèn)為是目前測(cè)量薄膜結(jié)構(gòu)信息的主要手段。但是由于國外具有小角X射線衍射功能的儀器價(jià)格昂貴,而國內(nèi)的X射線衍射儀絕大部分不具有小角X射線衍射的功能。因此有必要開發(fā)一種低成本的小角X射線衍射技術(shù)。
　　論文分析了小角X射線衍射的原理、X射線衍射儀的組成和工作原理,在此理論基礎(chǔ)上逐步實(shí)現(xiàn)了低成本小角X射線衍射技術(shù)