冰粒型固結磨料研拋單晶鍺片的機理及其工藝研究.pdf

1、精密及超精密加工技術是適應現(xiàn)代高新技術需要而發(fā)展起來的先進制造技術，它綜合應用了機械技術、現(xiàn)代電子、傳感技術、光學和計算機等高新技術發(fā)展的新成果，是高科技領域中的基礎技術，在國防科學技術現(xiàn)代化和國民經濟建設中發(fā)揮著至關重要的作用。目前，應用于硬脆晶體的超精密加工方法主要是化學機械拋光，化學機械拋光是一種集機械技術、化學技術、傳感技術和計算機等高新技術于一體的先進制造技術。本文創(chuàng)新性的提出采用冰粒型固結磨料實現(xiàn)超薄單晶鍺片的高品質加工并分

2、析其研拋機理并優(yōu)化加工工藝，為硬脆材料精密超精密加工提供新的工具和思路，為我國精密超精密加工技術提高國際競爭力。
　　本研究主要內容包括：⑴對比研究了冰粒型、熱固化型固結磨料與游離磨料研磨對單晶鍺片研磨效果的影響。分別采用納米壓痕法和HF酸腐蝕法測量研磨后單晶鍺片的亞表面損傷層厚度，并從橫截面表面輪廓及數(shù)據對比兩個方面分析亞表面損傷層形貌，從而對比出最優(yōu)加工方法。⑵研究了亞微米SiC粉體在水相介質中的分散工藝。綜合采用單因素試驗和