錳和錳的硅化物納米結(jié)構(gòu)在si(111)7215;7重構(gòu)表面的自組裝_第1頁(yè)
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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文錳和錳的硅化物納米結(jié)構(gòu)在Si（111）-7×7重構(gòu)表面的自組裝姓名：王丹申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：鄒志強(qiáng)20080101納米團(tuán)簇陣列；當(dāng)襯底溫度介于 260℃－500℃之間時(shí)，錳納米團(tuán)簇和平板狀 MnSi結(jié)構(gòu)共存；當(dāng)襯底溫度高于 500℃時(shí)，生成了平板狀 MnSi、硅化物納米線 MnSi1.7和三維不規(guī)則的硅化物島三種結(jié)構(gòu)。390℃－610℃時(shí)錳的硅化物島的成核密度符合傳統(tǒng)成核

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