熔鹽法沉積si及制備fe6.5wt％si薄板研究

1、YT 8 4 2 0 1論文編號(hào)：—H B L G0 5 —- - - 0 0 8 8密 級(jí)河北理工大學(xué)碩士學(xué)位論文熔鹽法沉積S i 及制備F e 。6 ．5 w t ％S i 薄板研究作者姓名：鋈盤蘊(yùn)專業(yè)名稱z 造金物理絲堂 研究方向：塹盟抖型圣學(xué)習(xí)單位：塑韭矍墨叁莖 學(xué)習(xí)時(shí)間：2 ：5 生 提變?nèi)掌冢簤|豎笙Q ≥目2 5 旦申請學(xué)位級(jí)別：l ：坐亟圭導(dǎo)師姓名：奎重型墼蕉 單位：扭絲堡三盤鱟論文評(píng)闋人：塞垂疊塾絲 單位：塑韭壟三盤生璺

2、叢塹整攮 單位：! ＆盞登墊盤莖論文答辯日期：2 Q 逝壘堡目煦旦 答辯委員會(huì)主席；型堡壘壺．L資助基金項(xiàng)目：河北省自然基金資助項(xiàng)目( )關(guān) 鍵 詞：S i ；熔鹽電沉積；F e 一6 ．5 ％S i 薄板：制備河北理工大學(xué)研究生學(xué)院2 0 0 5 年4 月河北理f ‘大學(xué)碩十學(xué)位論文A b s t r a c tT h i st e x ts t u d i e dac h e a p m o l t e ns a l t sf o

3、rp r e p a r a t i o no fs i l i c o n ，c o m p a r e d w i t hs o m eo t h e r w a y sf o r p r e p a r a t i o n o f s i l i c o n ，a n dc o n c l u d e dt h a tF C I N a K ·S i 0 2m o l t e ns a l t si sc h e a p

4、 ，c a l lb e u s e d ，u s e f u lf o re n v i r o n m e n tp r o t e c t i o n a n d S Oo n ．T h e m e l t i n g p o i n to ft h i s m o l t e n s a l t s s y s t e m i s s t u d i e d i n d i c a t e t h a t f o l l o w

5、 e d t h ei n c r e a s i n g o f S i 0 2 ，t h em e l t i n gp o i n t o f F C I N a K —S i 0 2m o l t e ns a l t s ，i n i t i a l s t a g ei t i n c r e a s i n ga n d w h e nS i 0 2r i s et o5 ％，g e ta p e a k ．；t h e

6、nd e s c e n da n dw h e n S i 0 2 r i s et o7 ％，g e ta v a l l e y ；f o l l o w e dt h e i n c r e a s i n g o f S i 0 2 ，t h em e l t i n g p o i n t w i l lg r a d u a li n c r e a s i n g ．S oS i 0 2 b ec h o s e a t

7、7 ％．A ts a m e t i m e ．s i l i c o nC a n b ee l e c t r o d e p o s e do ns i l i c o ns t e e la n d m o l y b d e n u m ．S i l i c o n b ee l e c t r o d e p o s e di nt h i sm e l t ss y s t e mC a ng e tg o o d e f

8、 f e c to f d e p o s i t i o na n d c o s tv e r yl o w ，a n du s e f u l f o re n v i r o R m e n t p r o t e c t i o n ．T h e t e c h n o l o g i c a lp a r a m e t e r so f s i l i c o ne l e c t r o d e p o s i t i

9、o nw e r es t u d i e di n t h eF C l N a K -S i 0 2 m o l t e ns a l t s 。T h e m e t a l l u r g i c a l s t r u c t u r e s o ft h e s i l i c o nc o a t i n gw e r e s h o w n b yt h em e t a l l u r g i c a lm i c r

10、 o s c o p ea n ds c a n n i n ge l e c t r o n m i c r o s c o p e ．T h eo p t i m u m c o m p o s i t i o na n dt e m p e r a t u r ew e r ed e t e r m i n e da s f o l l o w s ：t h ec o n c e n 2 a t i o no f S i 0 2w

11、 a s6 - 1 2 m 0 1 ％；a n dt h et e m p e r a t u r eW a Sa b o u t7 0 0 ℃，i = 6 0m A ／c m 2 ．At h i c k e rs i l i c o n c o a t i n g a b o u t8 - I 6 0 p mi nt h i c k n e s sw a s o b t m n e d b y p u l s i n g c u r

12、r e n tc o m p a r e d w i t hd i r e c tc t n - r e n t d e p o s i t i o n ．T h e c o n d i t i o n so f t h ea n n e a l i n g d i f f u s i o na n d s i l i c o n i z i n gw e r eg i v e n b yp r e p a r a t i o no f

13、F e ．6 ．5 w t ％S i s h e e t ．T h e F e - 6 ．5 w t ％S i s h e e t w e r e p r e p a r e d f r o m F e 一3 w t ％S i s h e e t b ya n n e a l i n g d i f f u s i o n t r e a t m e n ti n 1 0 5 0 ℃．F i g u r e2 7 t a b l e18