pld法制備ba,0.6sr,0.4tio,3薄膜及其性能研究

1、湖北大學(xué)碩士學(xué)位論文PLD法制備BaSrTiO薄膜及其性能研究姓名：趙敏申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：曹萬強(qiáng)20080501A b s t r a c tB a l 吖S r x T i 0 3 i s w e l l ．k n o w n f e r r o e l e c t r i c m a t e r i a l s ．I n t h i s a r t i c l e ，b a r i u ms t r o n

2、 t i u m t i t a n a t e B a o ．6 8 1 “ 0 ．4 T i 0 3 t h i n f i l m s h a v e b e e n d e p o s i t e do nP t ／T i ／S i 0 2 ／S is u b s t r a t e sb yp u l s e dl a s e r d e p o s i t i o n ，a n dt h ee f f e c t so fd

3、 e p o s i t i o nc o n d i t i o n so nt h es t r u c t u r ep r o p e r t i e sa n dt h ed i e l e c t r i cb e h a v i o ro ft h eB a o ．6 S r 0 ．4 T i 0 3 t h i nf i l mw e r ei n v e s t i g a t e d ．A sw ec a ns e

4、ef r o m t h ee x p e r i m e n t s ，t h e r ea r ca ( 2 10 ) p r e f e r r e do r i e n t a t i o n i n a l lt h ef i l m s ．W i t hd e c r e a s i n g t h eo x y g e n p r e s s u r et h ec r y s t a lg r a i ns i z ea

5、 n d t h es u r f a c er o u g h n e s s o f t h eB a 0 ．6 S t 0 ．4 T i 0 3 t h i nf i l m si n c r e a s ea n d t h ed i e l e c t r i cp r o p e r t i e s d e c r e a s ea f t e r ad r a s t i ci n c r e a s e ；W i t h

6、r i s i n g s u b s t r a t et e m p e r a t u r e ，t h ee r y s t a l l i n i t ya n dc r y s t a l g r a i n s i z eo ft h e f i l m s i n c r e a s e , t h e d i e l e c t r i cp r o p e r t i e si n c r e a s e s ；T

7、h e c r y s t a lo r i e n t a t i o n ，a n dt h ee r y s t a U i n i t yo f t h ef i l md e p o s i t e da t3 5 0 “ Ca n d t h e na n n e a l e d a t7 0 0 ‘C w e r es t r o n g l ye n h a n c e d ，t h er o u g h n e s s

8、d e c r e a s e d a n d t h ed i e l e c t r i cp e r m i a i v i t ye n h a n c e dc o m p a r e dw i t ht h e f i l md e p o s i t e dd i r e c t l y a t7 0 0 。C ．I na d d i t i o n , t h ef r e q u e n c yw i d t hi s

9、 w i d e r , t h e d e c r e a s i n go f t h e d i e l e c t r i cc o n s t a n tw i t ht h ei n c r e a s i n go ff r e q u e n c y i s m o r es l o wa n d t h e r ea r et w op e a k sb o t hi nt h ed i e l e c t r i c

10、l o s sa n d d i e l e c t r i cp e r m i t t i v i t yo f B S T t h i nf i l m s i nt h er e l a x a t i o nr e g i o ni nt h er e l a t i o n s h i po f d i e l e c t r i cp r o p e r t i e sa n d t h ef r e q u e n c

11、yo f t h ee l e c t r i cf i e l d a p p l i e do nt h e f i l m s ，c o m p a r e dw i t ht h e D e b y er e l a x a t i o nt h e o r y ．T h i s i s b e c a u s ei t j u s tc o n s i d e r e das i n g l e r e l a x a t i

12、 o n t i m e i nt h eD e b y ee q u a t i o n ，b u tt h e r e a r c v a r i o u sr a l a x a t i o n t i m e sc o n t r i b u t e db yas e r i e so f r e l a x a t i o np o l a r i z a t i o ni n d i e l e c t r i c ．A s

13、s h o w n i nt h er e s u l t so f t h e f i t t e d f u n c t i o n so fd i e l e c t r i c c u r v e s ，i t i s s i m i l a rw i t he x p e r i e n t i a le q u a t i o n r e f e r r e db y t i l eD a v d i d s o n a n

14、 d C o l e ：t a n 艿( f ) =磐+廠1 + ∞+ E ’s ’( 廠) = 占( 0 ) +B x f．f 、’舢七F．f + 。t + HW h e r e A ，B ，C ，D ，E ，F(xiàn) ’GH a r ec o n s t a n t ，w h i c hC a n b e a c q u i r e d b yt h ef i t t e dc u r v e s ．K e y w o r d s ：B