微納檢查摸底測(cè)試資料大全

1、_第一章1、微納米材料的三個(gè)特性是什么答：微尺寸效應(yīng)、表面與界面效應(yīng)、量子尺寸效應(yīng)。2、微納測(cè)試的研究?jī)?nèi)容是什么，并解釋其內(nèi)涵答：圓片級(jí)測(cè)試、管芯級(jí)測(cè)試和器件級(jí)測(cè)試。MEMS圓片級(jí)測(cè)試主要解決MEMS在工藝線上制造過程中微結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)的符合性、微結(jié)構(gòu)之間以及不同批次圓片間的一致性與重復(fù)性問題；管芯級(jí)測(cè)試主要解決封裝前微器件的成品率的測(cè)試問題；器件級(jí)測(cè)試有兩個(gè)方面的目的：其一是檢測(cè)封裝的質(zhì)量，進(jìn)行微器件的綜合性能測(cè)試；另一方面則是考核微器件

2、的可靠性，給出可靠性指標(biāo)。3、微納測(cè)試方法有哪兩大類答：接觸式測(cè)試與非接觸式測(cè)試。4、微納測(cè)試儀器有哪幾類答：光學(xué)、電子學(xué)、探針等。5、微納測(cè)試的特點(diǎn)答：被測(cè)量的尺度小，一般在微納米量級(jí)；以非接觸測(cè)量為主要手段。第二章1、試述光學(xué)法在微納測(cè)量技術(shù)中的意義（同自動(dòng)調(diào)焦法優(yōu)點(diǎn)）答：由于是非接觸測(cè)量，因而對(duì)被測(cè)表面不造成破壞，可測(cè)量十分敏感或柔軟的表面；測(cè)量速度高，能掃描整個(gè)被測(cè)表面的三維形貌，且能測(cè)量十分復(fù)雜的表面結(jié)構(gòu)；用這種方法制成的測(cè)量

3、儀器可用在制造加工過程中實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)量。2、可見光的波長(zhǎng)范圍答：400~760nm3、凸透鏡成像的5種形式答：形式1：當(dāng)物距大于2倍焦距時(shí)，則像距在1倍焦距和2倍焦距之間，成倒立、縮小的實(shí)像。此時(shí)像距小于物距，像比物小，物像異側(cè)。應(yīng)用：照相機(jī)、攝像機(jī)。形式2：當(dāng)物距等于2倍焦距時(shí)，則像距也在2倍焦距，成倒立、等大的實(shí)像。此時(shí)物距等于像距，像與物大小相等，物像異側(cè)。形式3：當(dāng)物距小于2倍焦距、大于1倍焦距時(shí)，則像距大于2倍焦距，成倒立、放

4、大的實(shí)像。此時(shí)像距大于物距，像比物大，物像異側(cè)。應(yīng)用：投影儀、幻燈機(jī)、電影放映機(jī)。形式4：當(dāng)物距等于1倍焦距時(shí)，則不成像，成平行光射出。形式5：當(dāng)物距小于1倍焦距時(shí)，則成正立、放大的虛像。此時(shí)像距大于物距，像比物大，物像同側(cè)。應(yīng)用：放大鏡。4、幾何光學(xué)的成像原理、波動(dòng)光學(xué)的成像原理答：幾何光學(xué)成像原理：在均勻介質(zhì)中，光線直線傳播；光的反射定律；光的折射定律；光程可逆性原理。波動(dòng)光學(xué)成像原理：光的干涉；光的衍射；光的偏振。5、顯微鏡與望遠(yuǎn)

5、鏡的異同點(diǎn)答：顯微鏡與望遠(yuǎn)鏡的相同點(diǎn)：（1）都是先成實(shí)像，后成虛像（2）他們的目_答：1）光學(xué)三角法是用一束激光經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)后照射到被測(cè)物體表面，形成一小光斑，經(jīng)被測(cè)物體表面反射后的光線通過成像物鏡匯聚成像在光電探測(cè)器的光接收面上。被測(cè)點(diǎn)的位移信息由該光點(diǎn)在探測(cè)器的光接收面上所形成的像點(diǎn)位置決定。當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí)，光斑相對(duì)于物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)的其像點(diǎn)在光探測(cè)器接收面上的位置也將發(fā)生改變，根據(jù)其像點(diǎn)位置的變化和測(cè)量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù)可

6、求出被測(cè)點(diǎn)的位移信息。由于入射光線和反射光線構(gòu)成一個(gè)三角形，所以該方法被稱為光學(xué)三角法。2）測(cè)量被測(cè)表面的形貌3）斜光學(xué)三角法和直光學(xué)三角法兩種13、三角法測(cè)量中有哪幾種檢測(cè)方案答：一般有三種，位置敏感探測(cè)器（PSD）、CCD線陣探測(cè)器、差動(dòng)式光電二極管。14、影響三角法測(cè)量精度的因素有哪些答：（1）表面粗糙度的影響（2）被測(cè)表面微結(jié)構(gòu)的影響（3）散斑的影響第三章1、分辨力、分辨率、放大倍數(shù)的基本概念答：分辨力：顯示裝置能有效辨別的最小

7、的示差值分辨率：顯示分辨率（屏幕分辨率）是屏幕圖像的精密度，是指顯示器所能顯示的像素有多少。放大倍數(shù)：像與物體的尺寸的比值2、人眼、光學(xué)顯微鏡、透射電鏡、電子掃描顯微鏡、探針顯微鏡的分辨力答：人眼晴分辯率：0.1mm以上；光學(xué)顯微鏡極限分辯本領(lǐng)是光波的半波長(zhǎng)：可見光最短0.4um(半波長(zhǎng)：0.2um）；透射電鏡:點(diǎn)分辨(0.30.5nm)晶格分辨(0.10.2nm)；電子掃描顯微鏡:(610nm)；探針顯微鏡:原子級(jí)(0.1nm)；3、

8、如何提高望遠(yuǎn)鏡與顯微鏡的分辨率答：對(duì)望遠(yuǎn)鏡，λ不變，盡量增大透鏡孔徑D，以提高分辨率。對(duì)顯微鏡，主要通過減小波長(zhǎng)來提高分辨率。4、顯微鏡的光學(xué)參數(shù)：放大倍數(shù)，工作距離，景深，視場(chǎng)答：放大倍數(shù)：指物體經(jīng)物鏡、目鏡兩次成像后眼睛所能看到像的大小對(duì)原物體大小的比值。是物鏡的橫向放大率m與目鏡的角放大率α的乘積。顯微鏡配有放大倍數(shù)不同的物鏡和目鏡，各廠家均已在物鏡和目鏡上標(biāo)出各自的放大倍數(shù)，兩者相乘即可。工作距離：就是從物鏡的前表面中心到被觀察

9、標(biāo)本之間的距離。景深：當(dāng)顯微鏡調(diào)焦于某一物平面時(shí)，如果位于其前或后的物平面仍能被觀察者看清楚，則該二平面之間的距離叫做景深。視場(chǎng)：從顯微鏡中能看到的圓形范圍叫視場(chǎng)(又叫視野)。5、光學(xué)顯微鏡有哪幾部分組成答：光學(xué)顯微鏡一般由載物臺(tái)、聚光照明系統(tǒng)、物鏡，目鏡和調(diào)焦機(jī)構(gòu)組成。6、激光掃描顯微鏡有哪兩種工作模式答：一種是自聚焦掃描方式，一種是共焦掃描方式。7、簡(jiǎn)述共聚焦掃描顯微鏡的基本原理，并說明如何產(chǎn)生一副完整的圖像答：利用放置在光源后的照