zls（手冊(cè)）-23b氦質(zhì)譜檢漏儀操作手冊(cè)

1、ZLS23B氦質(zhì)譜檢漏儀操作手冊(cè)氦質(zhì)譜檢漏儀操作手冊(cè)日常開(kāi)機(jī)日常開(kāi)機(jī)1將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開(kāi)抽速閥，開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置，再關(guān)抽速閥。2將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。3等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右（即冷規(guī)已激發(fā)）再關(guān)冷規(guī)。4開(kāi)抽速閥，過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升（真空示

2、值在1102Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開(kāi)），當(dāng)真空示值超過(guò)1102Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開(kāi)、關(guān)漏孔檢查儀器靈敏度（可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示最大），靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5將工件用外接泵抽上真空后，開(kāi)節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5103~1102Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。關(guān)機(jī)關(guān)機(jī)1關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥。2將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”。3等20分鐘左右，擴(kuò)散泵已冷，將總電源轉(zhuǎn)到“關(guān)”。儀器靈敏度儀器靈敏度

3、1靜態(tài)靈敏度本儀器要求≤21011Pam3sQmin=Qo例：Qmin=2.07109=1.661011Pam3sSnUUmVmV2502①Un—儀器噪音和漂移：如無(wú)明顯擺動(dòng)，則按表頭最靈敏檔的150或表頭最小分格計(jì)算，本儀器為2mV。②Us—信號(hào)值：開(kāi)、關(guān)漏孔在儀器放大器表頭讀出的電壓值。③Qo—漏孔漏率值：本儀器所指的漏率值為空氣的漏率值，儀器現(xiàn)使用的校準(zhǔn)漏孔，其標(biāo)定值為氦氣的漏率值，應(yīng)按下式換算為空氣的漏率值。Qo＝QHe≈QHe

4、2.7例：5.61092.7＝2.07109Pam3s21MMM1—空氣的分子量為28.96M2—氦的分子量為4.0026QHe—氦氣的漏率值2動(dòng)態(tài)靈敏度因檢漏時(shí)選擇的方法及分流情況不同，儀器靈敏度可能較靜態(tài)靈敏度下降，此時(shí)的靈敏度應(yīng)按選定的檢漏方法，調(diào)好儀器后進(jìn)行校準(zhǔn)，計(jì)算公式與以上靜態(tài)靈敏度公式相同。檢漏時(shí)，工件的漏率值可按下式計(jì)算：Qx＝Qo例：Qx＝2.07109＝1.38108Pam3sSxUUmVmV30200Qx—工件的漏

5、率值。UX—對(duì)工件檢漏時(shí)儀器放大器表頭讀出的電壓值。Us—開(kāi)、關(guān)漏孔在儀器放大器表頭讀出的電壓值。Qo—漏孔漏率值檢漏注意事項(xiàng)檢漏注意事項(xiàng)一、工件要保持清潔、干燥。二、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①?gòu)纳贤?。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。三、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴槍口是否有氦氣噴出。四、檢完工件，必須將必須將“節(jié)流閥節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。關(guān)閉，才能取工件。五、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除最大的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。六、裝工件時(shí)

6、應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。七、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度增高，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。八、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。提高檢漏靈敏度方法提高檢漏靈敏度方法一、盡量開(kāi)大節(jié)流閥。二、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏（當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門(mén)）。三、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，（但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn)）。四、使用液氮，全開(kāi)節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。使用液氮一、加液氮：在冷規(guī)指針過(guò)11

7、02Pa以后，加入液氮。二、停機(jī)前必須將殘余液氮排除后，才能關(guān)機(jī)：關(guān)機(jī)前先關(guān)“冷規(guī)”，關(guān)抽速閥，將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，將冷阱內(nèi)殘余液氮排出，再加入熱水，等20分鐘左右，擴(kuò)散泵已冷，將總電源轉(zhuǎn)到“關(guān)”。三、加液氮時(shí)應(yīng)注意防護(hù)，防止凍傷，加液氮每次不一定加滿，使用中如不夠，可再加。四、第二天（或定期）將液氮冷阱取下，清洗冷阱內(nèi)、外筒，再用吹風(fēng)吹干，安裝好后按正常程序開(kāi)機(jī)。調(diào)氦峰一、在更換燈絲后及每天開(kāi)始檢漏前檢查儀器靈敏度達(dá)不到要求時(shí)進(jìn)行

8、。1調(diào)氦峰方法：開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān)，單方向（從75~165V或從165~75V）調(diào)加速電壓“V”，使儀器放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)最大值，然后關(guān)漏孔開(kāi)關(guān)，如表頭指示值變小，說(shuō)明儀器接收到氦信號(hào)，即找到氦峰；如表頭指示值不變，說(shuō)明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”，直到找到氦峰（出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間）?！癡”的變化與表頭指示值的關(guān)系：2分辨不好：（1）氦和重離子分辨差（2）氦和輕離子分辨差75V165V原因：離子流偏轉(zhuǎn)半徑偏大原因：離子流

9、偏轉(zhuǎn)半徑偏小解決辦法：將離子源中的引出縫往解決辦法：將離子源中的引出縫往3信號(hào)?。菏占瘶O方向調(diào)一點(diǎn)離子源座方向調(diào)一點(diǎn)①燈絲沒(méi)正對(duì)電離盒上的電子入口②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)③分辨不好④燈絲質(zhì)量差（受油蒸汽污染或本身發(fā)射能力低）二、換燈絲：當(dāng)冷規(guī)指針已過(guò)1102Pa，按燈絲啟動(dòng)，燈很亮，發(fā)射電流無(wú)指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個(gè)月。1停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開(kāi)機(jī)步驟進(jìn)行。2不停機(jī)換

10、燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開(kāi)關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”（注意：閥開(kāi)關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過(guò)五分鐘），全開(kāi)節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開(kāi)抽速閥，開(kāi)冷規(guī)，等真空過(guò)1102Pa后可啟動(dòng)燈絲，調(diào)氦峰。3燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打