氦質(zhì)譜檢漏儀的研制.pdf

1、現(xiàn)在生產(chǎn)技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)檢漏方法及檢漏精度提出了越來(lái)越高的要求。氦質(zhì)譜檢漏作為檢漏方式的一種，在保證產(chǎn)品質(zhì)量方面起著越來(lái)越重要的作用。無(wú)論是傳統(tǒng)的空調(diào)制造業(yè)，還是新興的電子產(chǎn)品、航空航天領(lǐng)域，氦質(zhì)譜檢漏儀都因其靈敏度高、性能穩(wěn)定、無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)得到了越來(lái)越多的重視和推廣應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是全自動(dòng)氦檢漏設(shè)備上的核心部件，氦質(zhì)譜檢漏儀的高性能和高可靠性將 直接影響氦檢設(shè)備的性能和可靠性，通過(guò)自行研制的氦質(zhì)譜檢漏儀替換氦檢漏設(shè)備上一直使用的國(guó)

2、外的氦質(zhì)譜檢漏儀，將大大降低氦檢漏設(shè)備的制造和維護(hù)成本，從而提高其在同行業(yè)中的競(jìng)爭(zhēng)能力。
　　氦質(zhì)譜檢漏儀主要分為質(zhì)譜模件和電子模件兩部分。質(zhì)譜模件完成氦氣流量信號(hào)到電流信號(hào)的轉(zhuǎn)變，其工作原理較復(fù)雜，對(duì)工作條件和制作工藝等都有很高的要求，以目前國(guó)內(nèi)技術(shù)和制造水平很難制作出高性能的質(zhì)譜模件；電子模件主要是對(duì)質(zhì)譜模件輸出的電信號(hào)進(jìn)行收集、分析和處理，最終轉(zhuǎn)換為與測(cè)試漏孔相對(duì)應(yīng)的漏率值。本課題以德國(guó)INFICON公司生產(chǎn)的質(zhì)譜模件為基礎(chǔ)

3、，開發(fā)和設(shè)計(jì)其電子模件，從而研制和組裝一臺(tái)具有高性能和高可靠性的氦質(zhì)譜檢漏儀，為今后全面研發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀奠定基礎(chǔ)。
　　論文的主要內(nèi)容有：
　　1.分析氦檢漏技術(shù)在檢漏行業(yè)的現(xiàn)狀與發(fā)展，介紹氦質(zhì)譜檢漏原理及氦質(zhì)譜檢漏儀的發(fā)展趨勢(shì)；
　　2.根據(jù)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要功能，設(shè)計(jì)了本課題研制的氦質(zhì)譜檢漏儀的總體方案及其電氣控制系統(tǒng)的方案；
　　3.在詳細(xì)闡述了電氣控制系統(tǒng)的原理和功能的基礎(chǔ)上，采用模塊化設(shè)計(jì)思想，設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)