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文檔簡介
1、真空4.1真空在真空在LCD制造制造過程中的作用程中的作用真空技術(shù)被廣泛地應(yīng)用到各個領(lǐng)域，如表41，在我們身邊有很多真空應(yīng)用的例子，比如：電燈泡、熒光燈、電動吸塵器、CRT等。表41真空應(yīng)用領(lǐng)域和例子應(yīng)用領(lǐng)域應(yīng)用例子電子IC、LSI、LCD（成膜、刻蝕、離子注入、電子束）、CRT、電子管冶金真空溶解、真空鑄造、晶體拉升航天航空人造衛(wèi)星、火箭、模擬宇宙空間、真空潤滑光學(xué)透鏡鍍膜、激光、濾光片能源核反應(yīng)堆、太陽能電池元器件原子核物理加速器分
2、析電子顯微鏡、質(zhì)量分析儀、元素分析儀、X線分光儀、表面分析儀食品、藥品食品干燥、冷凍干燥、蒸餾、脫泡？搬送真空搬送如果對容器抽氣達(dá)到真空狀態(tài)，會出現(xiàn)以下5個特征：①產(chǎn)生壓力差當(dāng)對容器抽氣時，容器內(nèi)的壓力減少，產(chǎn)生壓力差。?應(yīng)用設(shè)備：ODF、Autoclave（高壓釜）①水分、溶劑蒸發(fā)當(dāng)容器內(nèi)的壓力減少，空氣中的水分和溶劑會蒸發(fā)。?應(yīng)用設(shè)備：Photo（減壓干燥）當(dāng)壓力發(fā)生變化，氣體分子的個數(shù)、平均自由程也發(fā)生大的變化（表43）。LCD制
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