1.刻蝕間培訓(xùn)材料_第1頁
已閱讀1頁,還剩7頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、尚能電池制造部刻蝕間培訓(xùn)材料SOP標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)(1)拿硅片承載盒打開傳遞窗,兩只手同時(shí)拿住承載盒,輕輕的放在硅片臺(tái)上。(2)打開硅片盒打開硅片盒時(shí),順著承載盒的邊緣往后推。(3)拿到上料臺(tái)在拿的過程要雙手捧?。ㄒ恢皇帜米∵吙?,一只手托緊盒子)。(4)上片在上片時(shí)一定要注意擴(kuò)散面與未擴(kuò)散面,放時(shí)要擴(kuò)散面向上在上片時(shí)一定要注意擴(kuò)散面與未擴(kuò)散面,放時(shí)要擴(kuò)散面向上并且放時(shí)要與滾軸相平正,片與片之間的距離要大小一致(保持在5cm左右)放片時(shí)要輕,盡量

2、地減低硅片與滾軸的高度距離,硅片不要放在上料臺(tái)滾軸的邊緣,要往里放。(5)裝片裝片時(shí)的動(dòng)作要輕,裝片時(shí)要注意承載盒的開口方向,不要將擴(kuò)散面裝反,并確認(rèn)好數(shù)量。(6)放入推車放入推車時(shí)只準(zhǔn)一只手拿一個(gè)承載盒,放時(shí)要放穩(wěn)一只推車只準(zhǔn)放十二盒。(7)往PECVD送片。往PECVD送片時(shí),推車要沿著指定的通道走,走時(shí)避免與人與物體相撞,雙手扶住推車把,推入PECVD時(shí)要放入指定地點(diǎn)。(8)所有的作業(yè),必須在戴汗布手套外再戴一層乳膠手套。電柜:電

3、源控制、信號(hào)輸出(PCA西門子)電腦操作臺(tái):手動(dòng)、自動(dòng)模式、服務(wù)系統(tǒng)、工藝文件、報(bào)警、操作界面、各種感應(yīng)、閥門、氣動(dòng)閥、液位的顯示圖壓力檢測:壓縮空氣、氮?dú)馍心茈姵刂圃觳靠涛g間培訓(xùn)材料自動(dòng)加液處化學(xué)品更換SOP標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)(1)更換化學(xué)品時(shí),必須佩戴防毒面具,防酸耐堿服、防酸手套、戴防酸手套時(shí),手上必須再戴兩層乳膠手套,腳上要穿防酸防堿的鞋。(2)在將化學(xué)桶放置在加液處時(shí),必須先檢查化學(xué)桶是否有滲漏的現(xiàn)象。(3)用叉車叉時(shí)車子一定要叉到位,

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論