低真空的獲得和檢漏

1、1低真空的獲得和測(cè)量低真空的獲得和測(cè)量實(shí)驗(yàn)?zāi)康?掌握低真空獲得和測(cè)量的方法.實(shí)驗(yàn)原理:1)旋片式機(jī)械泵（1）結(jié)構(gòu)及原理旋片式機(jī)械泵的結(jié)構(gòu)如圖6.1.1所示.它由轉(zhuǎn)子6定子7旋片4（或稱刮板）活門和油槽等所構(gòu)成.泵的定子裝在油槽中，定子的空腔是圓柱形.轉(zhuǎn)子是圓柱形輪子，它偏心地裝成與定子空腔內(nèi)切位置.轉(zhuǎn)子可繞自己旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸轉(zhuǎn)動(dòng)，方向如圖所示.轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)是由馬達(dá)帶動(dòng)的.轉(zhuǎn)子中鑲有兩塊刮板刮板之間用彈簧相連使刮板緊貼在定子空腔內(nèi)壁上當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)

2、，被抽容器中的氣體經(jīng)過進(jìn)氣口到定子與轉(zhuǎn)子之間的空間由活門及出氣口排出.定子浸在油中，油是起密封、潤滑與冷卻作用的.進(jìn)油槽是為了讓油進(jìn)人空腔，進(jìn)空腔的油除了上述作用外，還起著協(xié)助打開活門的作用.因?yàn)樵趬簭?qiáng)很低時(shí)被壓縮的氣體不足以打開活門而不可壓縮的油將強(qiáng)迫活門被打開.一般油面在活門上一定距離.活門的作用是讓氣體從泵中排出，而不讓大氣進(jìn)入泵中.活門的結(jié)構(gòu)為一金屬片或金屬球構(gòu)成.工作原理如圖6.1.2所示.圖中6.1.2(a)表示兩刮板轉(zhuǎn)動(dòng).

3、上刮板A與進(jìn)氣口之間的體積不斷增大，這時(shí)被抽容器內(nèi)氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入這部分空間.圖（b）、(c)表示進(jìn)入泵中的氣體被刮板B與被抽容器隔開并被壓縮到活門.當(dāng)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)到圖(d)位置時(shí)，被壓縮的氣體的壓強(qiáng)大于大氣壓，這時(shí)活門被打開，氣體排出泵外.這個(gè)過程反復(fù)不斷被抽容器內(nèi)的氣體就不斷被抽出泵外.3的變化不大.當(dāng)壓強(qiáng)快到極限壓強(qiáng)時(shí)抽速迅速下降，最后在極限真空度時(shí)抽速為零.這是因?yàn)閴簭?qiáng)很高時(shí)由泵返回被抽容器內(nèi)的氣體僅占次要地位，可被忽略.當(dāng)容器內(nèi)壓

4、強(qiáng)不斷降低時(shí)，返回容器內(nèi)的氣體與被排出氣體相比就越來越不可忽略，因此抽速下降.最后，從容器中排出氣體量等于返回容器內(nèi)的氣體量時(shí)容器中的氣體就不再減少了，這時(shí)泵的抽速就為零.（3）注意事項(xiàng)機(jī)械泵工作時(shí)由電動(dòng)機(jī)動(dòng)力維持者抽氣口和排氣口的壓強(qiáng)差，一旦停止工作，排氣口的大氣壓將把真空泵油壓到定子腔中，造成返油事故.因此，機(jī)械泵停止工作后必須使抽氣口與大氣相通，使泵的進(jìn)氣口和排氣口氣壓平橫.2）粗真空、低真空的測(cè)量(1)U形管壓強(qiáng)計(jì)這是最簡單的絕

5、對(duì)壓強(qiáng)計(jì)分為開管、閉管兩種.本實(shí)驗(yàn)中采用的是閉管式.測(cè)量時(shí)，將U形管開口端與待測(cè)系統(tǒng)相接U形管兩側(cè)的水銀液面高度差值，便是待測(cè)的真空度.顯然它是粗真空量具.(2)熱偶真空計(jì)的原理是利用在低氣壓下氣體的熱導(dǎo)率與氣體壓強(qiáng)間有依賴關(guān)系.其關(guān)系如圖6.1.4所示.因此，如果把一段金屬絲封入導(dǎo)管中，接入真空系統(tǒng)并通過一定的電流使絲加熱，則絲的溫度取決于輸入功率與散熱的平衡關(guān)系.當(dāng)輸入功率一定時(shí)，絲溫與氣體的熱導(dǎo)率有關(guān).只要用某種方法測(cè)出絲溫變化即