萬噸級粒狀多晶硅工程裝置研究

1、萬噸級粒狀多晶硅工程裝置研究?以化學(xué)工程科學(xué)和技術(shù)為基礎(chǔ)，以流化床反應(yīng)器和反應(yīng)精餾反應(yīng)器為核心，開發(fā)粒狀多晶硅工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)。?建立萬噸級高純度（大于7N）多晶硅成套工程化技術(shù)，技術(shù)經(jīng)濟目標(biāo)為：(1)1萬噸規(guī)模投資小于10億元人民幣；(2)每噸多晶硅的電耗小于1.5萬kWh；(3)每噸多晶硅生產(chǎn)成本小于10萬元RMB(相當(dāng)于15美元kg)。?硅烷生產(chǎn)技術(shù)?采用三氯氫硅方法生產(chǎn)硅烷，結(jié)合現(xiàn)有的西門子法，有利于西門子法的改?硅烷純凈化技術(shù)：

2、通過精餾、吸收、吸附、萃取、過濾等將這些氯化物和氫化物徹底地分離，使得硅烷的純度可以達到6N以上，確保多晶硅的高純度要求。?硅烷熱分解技術(shù)：通過優(yōu)化反應(yīng)條件，尤其優(yōu)化反應(yīng)器的溫度分布，可以增強非均相沉積，抑制均相和器壁沉積。10000TPY10000TPY粒狀多晶硅裝置工藝包粒狀多晶硅裝置工藝包?硅烷流化床熱裂解過程是一個系統(tǒng)工程，包括各子過程之間的集成，系統(tǒng)優(yōu)化和耦合。建立該大系統(tǒng)的計算機仿真模型，優(yōu)化工藝條件，尤其是能量的優(yōu)化耦合利

3、用，同時還包括主要設(shè)備和輔助設(shè)備的設(shè)計，主要工藝條件的控制策略，還包括三廢的處理，以及安全保護等措施。?可進一步由工程設(shè)計院編制可行性研究報告和初步設(shè)計報告，再實施工程設(shè)計和工程建設(shè)。?硅烷分解法：反應(yīng)放熱，投資小，能耗低，純度高，反應(yīng)器可采用化工過程常見的，特別適合大規(guī)模生產(chǎn)的流化床反應(yīng)器，單臺規(guī)模萬噸以上，最有可能大幅度降低生產(chǎn)成本，是多晶硅技術(shù)發(fā)展的必然方向。流化床還原技術(shù)與鐘罩式比較項目鐘罩式流化床還原產(chǎn)品純度9N~11N7N~

4、9N還原電耗，KwhKg50~10015~25生產(chǎn)效率間歇批次反應(yīng)連續(xù)原生產(chǎn)品形態(tài)棒狀，后續(xù)加工復(fù)雜粒狀，適合單晶原料綜合電耗占比，%40~60~20改進方向降低能耗，提高產(chǎn)量防止?fàn)t壁沉積、硅粒污染流化床還原技術(shù)在國際多晶硅生產(chǎn)公司中的應(yīng)用公司采用技術(shù)產(chǎn)能產(chǎn)品級別美國MEMCFBR流化床15000太陽能美國REC硅烷流化床6500太陽能美國HemLock改良西門子FBR流化床3000太陽能德國Wacker改良西門子FBR流化床7000太